[發明專利]一種二維環形光斑的質量檢測方法、裝置和存儲介質在審
| 申請號： | 202310011310.2 | 申請日： | 2023-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN116086774A | 公開（公告）日： | 2023-05-09 |
| 發明（設計）人： | 匡翠方;關鍵;朱大釗;賈天浩;徐良;李海峰;劉旭 | 申請（專利權）人： | 之江實驗室;浙江大學 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 杭州華進聯浙知識產權代理有限公司 33250 | 代理人： | 亓一舟 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 二維 環形 光斑 質量 檢測 方法 裝置 存儲 介質 | ||
1.一種二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述方法包括：
獲取待檢測的二維環形光斑的光強信息；
根據所述光強信息確定所述二維環形光斑在檢測線上的光強變化趨勢，所述檢測線包括自所述二維環形光斑的圓心向一側延伸的射線；
根據所述光強變化趨勢確定所述二維環形光斑的質量。
2.根據權利要求1所述的二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述獲取待檢測的二維環形光斑的光強信息包括：
通過雪崩光電二極管或光電倍增管掃描待檢測的所述二維環形光斑，得到所述二維環形光斑的光強信息。
3.根據權利要求1所述的二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述根據所述光強信息確定所述二維環形光斑在檢測線上的光強變化趨勢包括：
確定所述二維環形光斑在所述檢測線上的光強最高點，計算所述二維環形光斑自所述光強最高點沿指向圓心方向的光強下降速率；
所述根據所述光強變化趨勢確定所述二維環形光斑的質量包括：
根據所述光強下降速率確定所述二維環形光斑的質量，所述二維環形光斑的質量與所述光強下降速率呈正相關。
4.根據權利要求1所述的二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述檢測線為中軸線，所述根據所述光強信息確定所述二維環形光斑在檢測線上的光強變化趨勢包括：
根據所述光強信息生成所述二維環形光斑在中軸線上的光強雙峰曲線，所述光強雙峰曲線的橫坐標表示位置及其縱坐標表示光強；
確定所述光強雙峰曲線對應于多個不同縱坐標的內側間距，計算多個所述內側間距的標準差；
所述根據所述光強變化趨勢確定所述二維環形光斑的質量包括：
根據所述標準差確定所述二維環形光斑的質量，所述二維環形光斑的質量與所述標準差呈負相關。
5.根據權利要求1所述的二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述根據所述光強信息確定所述二維環形光斑在檢測線上的光強變化趨勢包括：
根據所述光強信息生成灰度信息；
根據所述灰度信息生成所述二維環形光斑的灰度圖；
確定所述灰度圖在所述檢測線上的灰度最高點，計算所述灰度圖自所述灰度最高點沿指向圓心方向的灰度下降速率；
所述根據所述光強變化趨勢確定所述二維環形光斑的質量包括：
根據所述灰度下降速率確定所述二維環形光斑的質量，所述二維環形光斑的質量與所述灰度下降速率呈正相關。
6.根據權利要求1所述的二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述檢測線為中軸線，所述根據所述光強信息確定所述二維環形光斑在檢測線上的光強變化趨勢包括：
根據所述光強信息生成灰度信息；
根據所述灰度信息生成所述二維環形光斑的灰度圖；
生成所述灰度圖在中軸線上的灰度雙峰曲線，所述光強雙峰曲線的橫坐標表示位置及其縱坐標表示灰度值；
確定所述光強雙峰曲線對應于多個不同縱坐標的內側間距，計算多個所述內側間距的標準差；
所述根據所述光強變化趨勢確定所述二維環形光斑的質量包括：
根據所述標準差確定所述二維環形光斑的質量，所述二維環形光斑的質量與所述標準差呈負相關。
7.根據權利要求6所述的二維環形光斑的質量檢測方法，其特征在于，所述生成所述灰度圖在中軸線上的灰度雙峰曲線包括：
確定所述灰度圖在所述中軸線上的各個位置點的灰度值；
對所述各個位置點的灰度值進行歸一化處理；
根據歸一化處理后的所述灰度值生成所述灰度雙峰曲線。
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