[發(fā)明專利]發(fā)光二極管的處理裝置和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310010167.5
• 申請日: 2023-01-04
• 公開（公告）號: CN116153814A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐波;李俊生;汪如;湯淼;馬瑋辰;管成龍;汪洋
• 申請（專利權(quán)）人: 華燦光電（浙江）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京三高永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138
• 代理人: 呂耀萍

本公開提供了一種發(fā)光二極管的處理裝置和方法，屬于光電子制造技術(shù)領(lǐng)域。該處理裝置包括：箱體以及均位于箱體內(nèi)的第一移動機(jī)構(gòu)、第二移動機(jī)構(gòu)、第三移動機(jī)構(gòu)、升降載臺和擴(kuò)膜機(jī)構(gòu)；第一移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動承載發(fā)光二極管的白膜、第二移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動藍(lán)膜、第三移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動升降載臺在倒膜區(qū)域和擴(kuò)膜區(qū)域移動；升降載臺用于在白膜和藍(lán)膜均位于倒膜區(qū)域時，從藍(lán)膜下方頂升藍(lán)膜，使藍(lán)膜與白膜上的發(fā)光二極管遠(yuǎn)離白膜的表面貼合；還用于在藍(lán)膜和藍(lán)膜上的發(fā)光二極管位于擴(kuò)膜區(qū)域時，頂升藍(lán)膜至擴(kuò)膜機(jī)構(gòu)所在位置進(jìn)行擴(kuò)膜。本公開實(shí)施例能改善晶圓裂片后倒膜和擴(kuò)膜周期長，且易使晶粒在藍(lán)膜上歪斜的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及光電子制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種發(fā)光二極管的處理裝置和方法。

背景技術(shù)

發(fā)光二極管(英文：Light?Emitting?Diode，簡稱：LED)作為光電子產(chǎn)業(yè)中極具影響力的新產(chǎn)品，具有體積小、使用壽命長、顏色豐富多彩、能耗低等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于照明、顯示屏、信號燈、背光源、玩具等領(lǐng)域。

相關(guān)技術(shù)中，制作好的晶圓通常會通過裂片的方式形成晶粒，裂片后的晶粒附著在白膜上，而白膜的擴(kuò)展性較差，因此還會在倒膜機(jī)上將粘附在白膜上的晶粒轉(zhuǎn)移至藍(lán)膜上，轉(zhuǎn)移至藍(lán)膜的過程為倒膜。在倒膜后，還會在擴(kuò)膜機(jī)上對藍(lán)膜進(jìn)行拉伸，以將晶粒的間距擴(kuò)展至一定倍數(shù)，該過程為擴(kuò)膜。

由于倒膜和擴(kuò)膜分別在不同的設(shè)備上進(jìn)行，倒膜后附著在藍(lán)膜上晶粒需要人工移動到擴(kuò)膜機(jī)上，過程繁瑣，且周期較長。同時，倒膜過程會加熱，轉(zhuǎn)移過程中，藍(lán)膜因熱脹冷縮而收縮，導(dǎo)致藍(lán)膜上晶粒會出現(xiàn)排列歪斜的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本公開實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管的處理裝置和方法，能改善晶圓裂片后倒膜和擴(kuò)膜周期長，且易使晶粒在藍(lán)膜上歪斜的問題。所述技術(shù)方案如下：

一方面，本公開實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管的處理裝置，所述處理裝置包括：箱體以及均位于所述箱體內(nèi)的第一移動機(jī)構(gòu)、第二移動機(jī)構(gòu)、第三移動機(jī)構(gòu)、升降載臺和擴(kuò)膜機(jī)構(gòu)；所述箱體內(nèi)具有并排的倒膜區(qū)域和擴(kuò)膜區(qū)域；所述第一移動機(jī)構(gòu)、所述第二移動機(jī)構(gòu)和所述第三移動機(jī)構(gòu)沿豎直方向依次分布，且所述第一移動機(jī)構(gòu)位于所述第二移動機(jī)構(gòu)上方，所述第一移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動承載發(fā)光二極管的白膜在所述倒膜區(qū)域和所述擴(kuò)膜區(qū)域移動，所述第二移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動藍(lán)膜在所述倒膜區(qū)域和所述擴(kuò)膜區(qū)域移動，所述第三移動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動升降載臺在所述倒膜區(qū)域和所述擴(kuò)膜區(qū)域移動；所述擴(kuò)膜機(jī)構(gòu)位于所述擴(kuò)膜區(qū)域；所述升降載臺用于在所述白膜和所述藍(lán)膜均位于所述倒膜區(qū)域時，從所述藍(lán)膜下方頂升所述藍(lán)膜，使所述藍(lán)膜與所述白膜上的發(fā)光二極管遠(yuǎn)離所述白膜的表面貼合；還用于在所述藍(lán)膜和所述藍(lán)膜上的發(fā)光二極管位于所述擴(kuò)膜區(qū)域時，頂升所述藍(lán)膜至所述擴(kuò)膜機(jī)構(gòu)所在位置進(jìn)行擴(kuò)膜。

可選地，所述第一移動機(jī)構(gòu)和所述第二移動機(jī)構(gòu)均包括：伸縮組件、載具和兩個軌道，兩個所述軌道平行間隔分布，所述載具搭接在兩個所述軌道上，所述伸縮組件用于驅(qū)動所述載具沿所述軌道移動。

可選地，所述伸縮組件包括直線電機(jī)和機(jī)械臂，所述直線電機(jī)與所述機(jī)械臂相連，所述直線電機(jī)的運(yùn)動方向與所述軌道的長度方向一致，所述機(jī)械臂可操控地與所述載具相連或分離。

可選地，所述箱體上設(shè)有兩個第一送料口和兩個第二送料口，兩個所述第一送料口位于所述箱體相對的兩側(cè)壁上，兩個所述第一送料口分別與所述第一移動機(jī)構(gòu)的軌道的兩端相對；兩個所述第二送料口位于所述箱體相對的兩側(cè)壁上，兩個所述第二送料口分別與所述第二移動機(jī)構(gòu)的軌道的兩端相對。

可選地，所述第二移動機(jī)構(gòu)的載具為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，所述藍(lán)膜貼合所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的端面且覆蓋所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的通孔，所述擴(kuò)膜機(jī)構(gòu)包括擴(kuò)膜環(huán)，所述擴(kuò)膜環(huán)的外徑小于所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑。

可選地，所述升降載臺包括伸縮件、承載臺和加熱件，所述伸縮件的一端與所述承載臺連接，所述伸縮件的另一端與所述第三移動機(jī)構(gòu)連接，所述加熱件位于所述承載臺中。