[發明專利]探針升降裝置及探針臺

在審

• 申請號: 202310001481.7
• 申請日: 2023-01-03
• 公開（公告）號: CN116047127A
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發明（設計）人: 沈杰;楊應俊
• 申請（專利權）人: 矽電半導體設備（深圳）股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 謝岳鵬

本發明公開了一種探針升降裝置及探針臺。本發明的探針升降裝置包括固定座、電機、第一偏心輪、第二偏心輪和調節座；電機設置于固定座上，電機包括電機軸；第一偏心輪套設于電機軸上，并能夠與電機軸同步轉動；第二偏心輪包括主體部和連接軸，主體部套設于第一偏心輪，第二偏心輪與第一偏心輪轉動連接；調節座用于連接探針，并能夠調節探針的位置，調節座與固定座沿設定方向滑動連接，連接軸與調節座轉動連接，以使電機軸的轉動能夠帶動調節座沿設定方向的移動。該探針升降裝置通過第一偏心輪和第二偏心輪的配合，將電機軸的轉動轉換為調節座沿設定方向的移動，傳動的誤差較小，調節座的運動精度較高。

技術領域

本發明涉及測試技術領域，尤其涉及一種探針升降裝置及探針臺。

背景技術

LED探針臺是通過探針與芯片接觸，測試芯片的光電等各項參數，探針的精度與穩定性關系到LED探針臺的測試精度和性能，所以探針組件是LED探針臺的核心組件之一。

現有技術中，針對芯片固定的情況，通過上下移動探針來完成測試。具體的，通過電機帶動絲桿轉動，絲桿與探針座連接，通過絲桿的轉動帶動探針座沿豎直方向的移動。但是，若電機軸直接與絲桿連接，則電機需要占據較大的絲桿軸向的空間，若電機與絲桿并列設置，則需要通過同步輪和同步帶進行連接，但同步帶有一定彈性，高頻運動時會產生滯后現象，探針運動高度會有一定誤差，從而影響整體測試精度。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明提出一種探針升降裝置，傳動的誤差較小，調節座的運動精度較高。

本發明還提出一種具有上述探針升降裝置的探針臺。

根據本發明的第一方面實施例的探針升降裝置，包括：

固定座；

電機，所述電機設置于所述固定座上，所述電機包括電機軸；

第一偏心輪，所述第一偏心輪套設于所述電機軸上，并能夠與所述電機軸同步轉動；

第二偏心輪，所述第二偏心輪包括主體部和連接軸，所述主體部套設于所述第一偏心輪，所述第二偏心輪與所述第一偏心輪轉動連接；

調節座，所述調節座用于連接探針，并能夠調節所述探針的位置，所述調節座與所述固定座沿設定方向滑動連接，所述連接軸與所述調節座轉動連接，以使所述電機軸的轉動能夠帶動所述調節座沿所述設定方向的移動。

根據本發明實施例的探針升降裝置，至少具有如下有益效果：本申請的探針升降裝置通過第一偏心輪和第二偏心輪的配合，將電機軸的轉動轉換為調節座沿設定方向的移動，電機軸通過剛性的第一偏心輪和第二偏心輪直接驅動調節座，調節座移動的行程由第一偏心輪的偏心距確定，當第一偏心輪不發生變化時，調節座沿設定方向上的終點位置是不變的，較為穩定，適合于大批量同規格的芯片檢測。并且第一偏心輪和第二偏心輪在傳動過程中的形變基本上可以忽略不計，傳動的誤差較小，調節座的運動精度較高。

根據本發明的一些實施例，所述第一偏心輪的軸線和所述電機軸的軸線的距離為第一偏心距，所述連接軸的軸線和所述主體部的軸線的距離為第二偏心距，所述主體部和所述第一偏心輪同軸設置，所述第二偏心距不小于所述第一偏心距。

根據本發明的一些實施例，所述第一偏心輪具有供所述電機軸穿過的第一通孔，所述第一偏心輪還具有沿軸向延伸的第一減弱槽和沿徑向延伸的第二減弱槽，所述第一減弱槽沿徑向與所述第一通孔連通，所述第一減弱槽沿軸向與所述第二減弱槽連通，所述第一減弱槽和所述第二減弱槽將所述第一偏心輪分割出第一鎖緊部和第二鎖緊部，所述第一鎖緊部和所述第二鎖緊部之間的間距能夠調節，以使所述第一偏心輪固定連接于所述電機軸。