[發(fā)明專利]探針升降裝置及探針臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310001481.7
• 申請日: 2023-01-03
• 公開（公告）號: CN116047127A
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈杰;楊應(yīng)俊
• 申請（專利權(quán)）人: 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/04
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 謝岳鵬

1.探針升降裝置，其特征在于，包括：

固定座；

電機，所述電機設(shè)置于所述固定座上，所述電機包括電機軸；

第一偏心輪，所述第一偏心輪套設(shè)于所述電機軸上，并能夠與所述電機軸同步轉(zhuǎn)動；

第二偏心輪，所述第二偏心輪包括主體部和連接軸，所述主體部套設(shè)于所述第一偏心輪，所述第二偏心輪與所述第一偏心輪轉(zhuǎn)動連接；

調(diào)節(jié)座，所述調(diào)節(jié)座用于連接探針，并能夠調(diào)節(jié)所述探針的位置，所述調(diào)節(jié)座與所述固定座沿設(shè)定方向滑動連接，所述連接軸與所述調(diào)節(jié)座轉(zhuǎn)動連接，以使所述電機軸的轉(zhuǎn)動能夠帶動所述調(diào)節(jié)座沿所述設(shè)定方向的移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針升降裝置，其特征在于，所述第一偏心輪的軸線和所述電機軸的軸線的距離為第一偏心距，所述連接軸的軸線和所述主體部的軸線的距離為第二偏心距，所述主體部和所述第一偏心輪同軸設(shè)置，所述第二偏心距不小于所述第一偏心距。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針升降裝置，其特征在于，所述第一偏心輪具有供所述電機軸穿過的第一通孔，所述第一偏心輪還具有沿軸向延伸的第一減弱槽和沿徑向延伸的第二減弱槽，所述第一減弱槽沿徑向與所述第一通孔連通，所述第一減弱槽沿軸向與所述第二減弱槽連通，所述第一減弱槽和所述第二減弱槽將所述第一偏心輪分割出第一鎖緊部和第二鎖緊部，所述第一鎖緊部和所述第二鎖緊部之間的間距能夠調(diào)節(jié)，以使所述第一偏心輪固定連接于所述電機軸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針升降裝置，其特征在于，所述第二偏心輪具有容置腔，所述第一偏心輪位于所述容置腔內(nèi)，所述第二偏心輪的外周面上具有連通所述容置腔的第二通孔，所述第一偏心輪包括第一鎖緊部、第二鎖緊部和第一鎖緊件，所述第一鎖緊件穿設(shè)于所述第一鎖緊部和所述第二鎖緊部，以調(diào)節(jié)所述第一鎖緊部和所述第二鎖緊部的間距，所述第一鎖緊件能夠穿過所述第二通孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針升降裝置，其特征在于，所述第一偏心輪的外周面具有安裝槽，所述安裝槽沿軸向延伸至所述第一偏心輪的端面，所述探針升降裝置還包括第一軸承，所述第一軸承的內(nèi)圈連接于所述安裝槽的底部，所述第一軸承的外圈連接于所述第二偏心輪的內(nèi)壁。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針升降裝置，其特征在于，第一偏心輪還包括第二鎖緊件，所述第二鎖緊件連接于所述第一偏心輪的端面，所述第一軸承的一端與所述安裝槽的側(cè)壁抵接，另一端與所述第二鎖緊件抵接，以限制所述第一軸承和所述第一偏心輪的相對位移。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針升降裝置，其特征在于，所述連接軸和所述調(diào)節(jié)座通過第二軸承連接，所述第二軸承套設(shè)于所述連接軸，所述連接軸遠離所述主體部的端面設(shè)置有固定孔，所述固定孔沿軸向延伸至所述第二軸承的安裝位置，所述第二偏心輪還包括第三鎖緊件，所述第三鎖緊件穿設(shè)于所述固定孔，并能夠使所述連接軸膨脹變形，以限制所述第二軸承的位移。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)座包括基座、第一滑動座和第一調(diào)節(jié)件，所述第一滑動座與所述基座沿第一方向滑動連接，所述第一調(diào)節(jié)件設(shè)置于所述第一滑動座上，并與所述基座抵接，以驅(qū)動所述第一滑動座沿所述第一方向移動，所述調(diào)節(jié)座還包括第一彈性件，所述第一彈性件沿所述第一方向設(shè)置，所述第一彈性件的一端連接所述基座，另一端連接所述滑動座，所述第一滑動座和所述基座的相對位移能夠使所述第一彈性件發(fā)生彈性變形。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)座還包括第二滑動座和設(shè)置于所述第二滑動座上的第二調(diào)節(jié)件，所述第二滑動座和所述第一滑動座沿第二方向滑動連接，所述第二調(diào)節(jié)件與所述第一滑動座抵接，以驅(qū)動所述第二滑動座沿所述第二方向移動；

所述調(diào)節(jié)座還包括第三滑動座和設(shè)置于所述第三滑動座上的第三調(diào)節(jié)件，所述第三滑動座和所述第二滑動座沿第三方向滑動連接，所述第三調(diào)節(jié)件與所述第二滑動座抵接，以驅(qū)動所述第三滑動座和所述第二滑動座沿所述第三方向產(chǎn)生相對位移；

其中，所述第三滑動座用于連接所述探針。

10.探針臺，其特征在于，包括：

如權(quán)利要求1至9任一項所述的探針升降裝置；

探針，連接于所述探針升降裝置；

載物機構(gòu)，用于放置芯片；

其中，所述探針升降裝置能夠驅(qū)動所述探針移動，以使所述探針能夠與所述芯片接觸。