[實用新型]一種薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置

有效

• 申請號: 202223592533.2
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN219059115U
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 王開兵;孫及;姜靖;張強;甕晴晴;沈曉華
• 申請（專利權）人: 上海悅匠實業有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/34;G01B11/26
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

本實用新型公開了一種薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置，薄膜濺射設備包括載片臺，載片臺的腔體的頂部密封有透明玻璃，載片臺的腔體內裝載有晶圓，裝置包括檢測相機和控制箱，檢測相機通過支架安裝在透明玻璃的正上方，控制箱包括控制箱體，控制箱體的正面嵌設有觸摸屏，控制箱體內設有PLC，控制箱體上設有電源信號線接口，電源信號線接口的一端與薄膜濺射設備的電源導線連接、另一端與PLC導線連接，檢測相機和觸摸屏均與PLC電連接。本實用新型的檢測裝置具有體積小、安裝調試便捷的特點，在不改變原有設備電路的前提下，有效檢測腔體內的晶圓位置角度，控制薄膜濺射設備的運轉與報警。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，應用于薄膜金屬化制程，具體涉及薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置。

背景技術

在半導體技術中，薄膜濺射是金屬互聯的主要工藝手段。在開始濺射工藝之前，機械手臂會將晶圓從真空片架升降腔體中取出放置到腔體內對晶圓缺口進行定位。定位的原理是旋轉晶圓，通過CCD傳感器的模擬量數值計算并調整缺口的角度位置。即便是這樣，準確性還是有細微誤差。需要再此基礎上進一步提升缺口角度的精確性，在不改變現有薄膜濺射設備的外觀功能的同時加裝本裝置。

發明內容

本實用新型針對現有技術存在的問題和不足，提供一種新型的薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置。

本實用新型是通過下述技術方案來解決上述技術問題的：

本實用新型提供一種薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置，所述薄膜濺射設備包括載片臺，其特點在于，所述載片臺的腔體的頂部密封有透明玻璃，所述載片臺的腔體內裝載有晶圓，所述裝置包括檢測相機和控制箱，所述檢測相機通過支架安裝在透明玻璃的正上方，所述控制箱包括控制箱體，所述控制箱體的正面嵌設有觸摸屏，所述控制箱體內設有PLC，所述控制箱體上設有電源信號線接口，所述電源信號線接口的一端與薄膜濺射設備的電源導線連接、另一端與PLC導線連接，所述檢測相機和觸摸屏均與PLC電連接。

較佳地，所述控制箱體的兩側均固定有電箱掛耳，所述電箱掛耳掛設在薄膜濺射設備的機架上。

在符合本領域常識的基礎上，上述各優選條件，可任意組合，即得本實用新型各較佳實例。

本實用新型的積極進步效果在于：

本實用新型的檢測裝置具有體積小、安裝調試便捷的特點，在不改變原有設備電路的前提下，有效檢測腔體內的晶圓位置角度，控制薄膜濺射設備的運轉與報警。

附圖說明

圖1為本實用新型較佳實施例的薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

如圖1所示，本實施例提供一種薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置，所述薄膜濺射設備包括載片臺1，所述載片臺1的腔體的頂部密封有透明玻璃2，所述載片臺1的腔體內裝載有晶圓，所述裝置包括檢測相機3和控制箱4，所述檢測相機3通過支架5安裝在透明玻璃2的正上方，所述控制箱4包括控制箱體41，所述控制箱體41的正面嵌設有觸摸屏42，所述控制箱體41內設有PLC，所述控制箱體41的兩側均固定有電箱掛耳(圖中未示出)，所述控制箱體41上設有電源信號線接口43，所述電源信號線接口43的一端與薄膜濺射設備的電源導線連接、另一端與PLC導線連接，所述電箱掛耳掛設在薄膜濺射設備的機架上，所述檢測相機3和觸摸屏42均與PLC電連接。