[實用新型]一種薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223592533.2
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN219059115U
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設計）人: 王開兵;孫及;姜靖;張強;甕晴晴;沈曉華
• 申請（專利權）人: 上海悅匠實業(yè)有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/34;G01B11/26
• 代理公司: 上海恒慧知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置，所述薄膜濺射設備包括載片臺，其特征在于，所述載片臺的腔體的頂部密封有透明玻璃，所述載片臺的腔體內裝載有晶圓，所述裝置包括檢測相機和控制箱，所述檢測相機通過支架安裝在透明玻璃的正上方，所述控制箱包括控制箱體，所述控制箱體的正面嵌設有觸摸屏，所述控制箱體內設有PLC，所述控制箱體上設有電源信號線接口，所述電源信號線接口的一端與薄膜濺射設備的電源導線連接、另一端與PLC導線連接，所述檢測相機和觸摸屏均與PLC電連接。

2.如權利要求1所述的薄膜濺射設備中晶圓旋轉角度檢測裝置，其特征在于，所述控制箱體的兩側均固定有電箱掛耳，所述電箱掛耳掛設在薄膜濺射設備的機架上。