[實用新型]托盤組件和硅片移動裝置

有效

• 申請號: 202223587340.8
• 申請日: 2022-12-28
• 公開（公告）號: CN219553607U
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發明（設計）人: 傅林堅;劉毅;曹建偉;朱亮;周建燦;于康杰
• 申請（專利權）人: 浙江求是半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;C30B25/12;C30B29/36;H01L21/677
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 胡炳旭

1.一種托盤組件，其特征在于，包括：

環形托盤(1)，所述環形托盤(1)具有沿第一方向貫穿所述環形托盤(1)的第一通道(11)；

升降件(2)，所述升降件(2)穿設在所述環形托盤(1)上，所述升降件(2)的一部分配合在所述第一通道(11)內；

中心托盤(3)，所述中心托盤(3)與所述升降件(2)的一端相連，所述中心托盤(3)在所述升降件(2)的驅動下可在第一位置和第二位置之間移動，在所述第一位置，所述中心托盤(3)嵌設在所述第一通道(11)內，在所述第二位置，所述中心托盤(3)遠離所述第一通道(11)且與所述環形托盤(1)脫離。

2.根據權利要求1所述的托盤組件，其特征在于，所述第一通道(11)的壁面具有容納槽(12)，所述容納槽(12)環繞所述第一通道(11)的中心線設置，在所述第一位置，所述中心托盤(3)位于所述容納槽(12)內。

3.根據權利要求1所述的托盤組件，其特征在于，所述環形托盤(1)具有沿所述第一方向延伸的第一承載部(13)，

所述第一承載部(13)為環繞所述中心托盤(3)的中心線的環形，或者，所述第一承載部(13)為多個，多個所述第一承載部(13)環繞所述中心托盤(3)的中心線間隔排布；

所述中心托盤(3)具有沿所述第一方向延伸的第二承載部(31)，

所述第二承載部(31)為環繞所述中心托盤(3)的中心線的環形，或者，所述第二承載部(31)為多個，多個所述第二承載部(31)環繞所述中心托盤(3)的中心線間隔排布；

在所述第一位置，所述第一承載部(13)在所述第一方向上的端面與所述第二承載部(31)在所述第一方向上的端面平齊。

4.根據權利要求3所述的托盤組件，其特征在于，還包括擋環(4)，所述擋環(4)環繞所述中心托盤(3)的中心線設置，所述擋環(4)套設在所述第一承載部(13)上，且所述擋環(4)在所述第一方向凸出于所述第一承載部(13)。

5.根據權利要求4所述的托盤組件，其特征在于，所述第一承載部(13)的內壁面和外壁面沿遠離所述環形托盤(1)的方向延伸，并沿相對靠近的方向傾斜設置。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的托盤組件，其特征在于，還包括基座(5)，所述基座(5)具有沿所述第一方向貫穿所述基座(5)的第二通道(51)，所述升降件(2)的部分配合在所述第二通道(51)內，所述環形托盤(1)相對于所述基座(5)可沿所述第一方向移動，以使所述環形托盤(1)可放置在所述基座(5)上以及與所述基座(5)脫離，在所述環形托盤(1)放置在所述基座(5)上時，所述第二通道(51)與所述第一通道(11)連通，所述升降件(2)依次穿設在所述環形托盤(1)和所述基座(5)上。

7.根據權利要求6所述的托盤組件，其特征在于，所述基座(5)具有第三承載部(52)，所述第三承載部(52)沿所述第一方向延伸，以用于承載所述環形托盤(1)，所述第三承載部(52)為環形，且所述第三承載部(52)環繞所述第二通道(51)，所述第三承載部(52)在第一方向上的端面具有通氣槽(53)，所述通氣槽(53)沿第二方向貫穿所述第三承載部(52)，所述第二方向正交于所述第一方向。

8.根據權利要求6所述的托盤組件，其特征在于，所述環形托盤(1)具有沿所述第一方向延伸的定位部(14)，所述定位部(14)的中心線與所述第一通道(11)的中心線共線，在正交于所述第一方向的投影面內，所述基座(5)的投影位于所述定位部(14)的投影內；

所述托盤組件還包括定位件，所述定位件為多個，多個所述定位件環繞所述第二通道(51)的中心線位置，且所述定位件可朝向和遠離所述基座(5)移動，在所述基座(5)承載所述環形托盤(1)時，所述定位件抵接所述定位部(14)，以使所述第二通道(51)與所述第一通道(11)連通。