[實用新型]校準工裝

有效

• 申請號: 202223584789.9
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN219466196U
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: 孫曉東
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術股份有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00;B25B11/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 楊偉東

本實用新型涉及半導體制造技術領域，提供一種校準工裝，包括：第一基準板，可拆卸設置在裝載臺的定位位置處，且第一基準板上構造有與晶圓的中心對應的第一定位孔，第一定位孔適于校準機械手的第一位置坐標；第二基準板，通過支撐組件設置在第一基準板的上方，第二基準板上構造有與第一定位孔正對的第二定位孔，第二定位孔適于校準機械手的第二位置坐標通過在第一基準板上構造與晶圓中心對應的第一定位孔。本實用新型提供的校準方式不僅能夠精準定位機械手與晶圓傳送盒的位置關系，且在機臺外校準，便于校準時觀察，并提高了維護人員校準時的安全性；極大地提高了對機械手的校準效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種校準工裝。

背景技術

在半導體的生產制造過程中，各腔室之間或工位之間通常使用機械手來完成晶圓的傳送。在晶圓傳輸系統中，為避免取放時偏位或晶圓破損等客觀因素的發生，提高晶圓取放的準確度，需要校準機械手與晶圓傳送盒內晶圓的位置關系。

相關技術中，校準大多采用的是傳感器或相機與校準工裝相結合的技術完成校準，例如在機械手手叉上安裝傳感器，把手叉伸入晶圓傳送盒內，通過傳感器反射來感應距離，以此反復調整機械手的位姿快速完成校點。此外，也會有簡單的純機械校點工裝，但很多都是根據自身所用特定手叉而設計，限制應用的廣泛性。

還有一種校準方式是用生產的晶圓傳送盒進行校準，需要將機械手深入晶圓傳送盒，通過機械手和晶圓傳送盒的工裝完成機械手定位；此時需要工作人員鉆入機臺內，定位好壞取決于工裝的精度，還取決于工作人員在用工裝時候的個人經驗，很容易出現誤檢。如果出現誤檢，在發生移位情況下，在晶圓傳運過程中容易發生晶圓、機械手或槽位的相互碰擦的現象，以致出現大量因碰擦產生的顆粒物質，這些顆粒物質會污染晶圓，甚至造成晶圓劃傷，導致晶圓良率下降。

實用新型內容

本實用新型提供一種校準工裝，用以解決現有技術中在定位機械手與晶圓位置時，需要維護人員鉆入機臺內，存在安全風險；且校準過多依賴維修人員經驗，校準誤差大，容易出現反復校準，降低校準效率的缺陷，實現能夠精準定位機械手與晶圓傳送盒的位置關系，且在機臺外校準，便于校準時觀察，并提高了維護人員校準時的安全性；極大地提高了對機械手的校準效率。

本實用新型第一方面提供一種校準工裝，所述校準工裝設置在裝載臺上，用以校準用于傳送晶圓的機械手在所述裝載臺的位置，所述校準工裝包括：

第一基準板，可拆卸設置在所述裝載臺的定位位置處，且所述第一基準板上構造有與所述晶圓的中心對應的第一定位孔，所述第一定位孔適于校準所述機械手的第一位置坐標；

第二基準板，通過支撐組件設置在所述第一基準板的上方，所述第二基準板上構造有與所述第一定位孔正對的第二定位孔，所述第二定位孔適于校準所述機械手的第二位置坐標。

根據本實用新型提供的一個實施例，所述第一定位孔適于與所述機械手上構造的校準孔對應，以校準所述機械手的所述第一位置坐標，所述第二定位孔適于與所述校準孔對應，以校準所述機械手的所述第二位置坐標。

根據本實用新型提供的一個實施例，還包括定位桿，所述定位桿適于依次穿過所述校準孔和所述第一定位孔，以校準所述機械手的所述第一位置坐標；或所述定位桿適于依次穿過所述校準孔和所述第二定位孔，以校準所述機械手的所述第二位置坐標。

根據本實用新型提供的一個實施例，所述支撐組件包括至少四根立柱，所述立柱的底端與所述第一基準板通過第一定位銷定位連接，所述立柱的頂端與所述第二基準板通過第二定位銷定位連接。

根據本實用新型提供的一個實施例，所述第一基準板的底面設有多個第一定位件，所述裝載臺設有多個與所述第一定位件一一對應的第二定位件，且多個所述第一定位件適于與多個所述第二定位件一一對應插接。

本實用新型第二方面提供一種校準工裝，所述校準工裝設置在裝載臺上，用以校準用于傳送晶圓的機械手在所述裝載臺的位置，所述校準工裝包括：