[實用新型]校準工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223584789.9
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN219466196U
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發(fā)明（設計）人: 孫曉東
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術股份有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00;B25B11/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 楊偉東

1.一種校準工裝，其特征在于，所述校準工裝設置在裝載臺上，用以校準用于傳送晶圓的機械手在所述裝載臺的位置，所述校準工裝包括：

第一基準板，可拆卸設置在所述裝載臺的定位位置處，且所述第一基準板上構造有與所述晶圓的中心對應的第一定位孔，所述第一定位孔適于校準所述機械手的第一位置坐標；

第二基準板，通過支撐組件設置在所述第一基準板的上方，所述第二基準板上構造有與所述第一定位孔正對的第二定位孔，所述第二定位孔適于校準所述機械手的第二位置坐標。

2.根據(jù)權利要求1所述的校準工裝，其特征在于，所述第一定位孔適于與所述機械手上構造的校準孔對應，以校準所述機械手的所述第一位置坐標，所述第二定位孔適于與所述校準孔對應，以校準所述機械手的所述第二位置坐標。

3.根據(jù)權利要求2所述的校準工裝，其特征在于，還包括定位桿，所述定位桿適于依次穿過所述校準孔和所述第一定位孔，以校準所述機械手的所述第一位置坐標；或所述定位桿適于依次穿過所述校準孔和所述第二定位孔，以校準所述機械手的所述第二位置坐標。

4.根據(jù)權利要求1～3中任意一項所述的校準工裝，其特征在于，所述支撐組件包括至少四根立柱，所述立柱的底端與所述第一基準板通過第一定位銷定位連接，所述立柱的頂端與所述第二基準板通過第二定位銷定位連接。

5.根據(jù)權利要求1～3中任意一項所述的校準工裝，其特征在于，所述第一基準板的底面設有多個第一定位件，所述裝載臺設有多個與所述第一定位件一一對應的第二定位件，且多個所述第一定位件適于與多個所述第二定位件一一對應插接。

6.一種校準工裝，其特征在于，所述校準工裝設置在裝載臺上，用以校準用于傳送晶圓的機械手在所述裝載臺的位置，所述校準工裝包括：

第一基準板，可拆卸設置在所述裝載臺的定位位置處，且所述第一基準板上構造有與所述晶圓的中心對應的第一定位孔，所述第一基準板上設有多個第一支撐塊，所述第一支撐塊適于放置所述晶圓，以通過所述機械手移動所述晶圓至所述第一支撐塊處來校準所述機械手的第一位置坐標；

第二基準板，通過支撐組件設置在所述第一基準板的上方，所述第二基準板上構造有與所述第一定位孔正對的第二定位孔，所述第二基準板上設有多個與所述第一支撐塊一一對應的第二支撐塊，所述第二支撐塊適于放置所述晶圓，以通過所述機械手移動所述晶圓至所述第二支撐塊處來校準所述機械手的第二位置坐標。

7.根據(jù)權利要求6所述的校準工裝，其特征在于，多個所述第一支撐塊與多個所述第二支撐塊結構相同，所述第一支撐塊上構造有定位凹槽，所述定位凹槽的側壁為弧面，所述定位凹槽的底面適于與所述晶圓接觸。

8.根據(jù)權利要求7所述的校準工裝，其特征在于，所述弧面沿豎直方向的正投影為圓弧，多個所述圓弧對應于同一個圓心，且所述圓心與所述第一定位孔或是第二定位孔的中心重合。

9.根據(jù)權利要求7所述的校準工裝，其特征在于，多個所述第一支撐塊的定位凹槽底面構成第一晶圓支撐面，所述第一晶圓支撐面對應晶圓傳送盒底層的晶圓放置面；多個所述第二支撐塊的定位凹槽底面構成第二晶圓支撐面，所述第二晶圓支撐面對應所述晶圓傳送盒頂層的晶圓放置面。

10.根據(jù)權利要求6至9中任意一項所述的校準工裝，其特征在于，所述第一基準板的底面設有多個第一定位件，所述裝載臺設有多個與所述第一定位件一一對應的第二定位件，且多個所述第一定位件適于與多個所述第二定位件一一對應插接。