[實用新型]一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的彈性膜和承載頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223573470.6
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN218891684U
• 公開（公告）日: 2023-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙德文;溫世乾;孟松林;王宇
• 申請（專利權(quán)）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/32
• 分類號: B24B37/32;B24B37/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的彈性膜和承載頭，所述彈性膜包括：圓形的底板部；外周壁，其包括直立部、褶皺部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周緣向上豎直延伸而成，所述褶皺部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皺部頂端朝向內(nèi)側(cè)水平延伸而成；以及至少一個內(nèi)周壁，其同心設(shè)置于所述外周壁的內(nèi)側(cè)；其中，所述褶皺部為開口向內(nèi)的梯形折邊。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的彈性膜和承載頭。

背景技術(shù)

化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical?Mechanical?Polishing,CMP)是一種全局平坦化的超精密表面加工技術(shù)，是晶圓制造工序中的核心制程之一。拋光過程中，通常將晶圓吸合于承載頭的底面，承載頭在驅(qū)動組件的致動下與拋光墊同向旋轉(zhuǎn)并給予晶圓向下的載荷；拋光液供給于拋光墊的上表面并分布在晶圓與拋光墊之間，使得晶圓在化學(xué)和機(jī)械的共同作用下完成晶圓的化學(xué)機(jī)械拋光。

現(xiàn)有的承載頭配置多腔室彈性膜，以形成多個作用于晶圓不同區(qū)域的可調(diào)壓的腔室。現(xiàn)有彈性膜的邊緣部分設(shè)置的較為復(fù)雜，以增強(qiáng)晶圓邊緣區(qū)域的壓力調(diào)控能力。

但隨著制程節(jié)點的下移，現(xiàn)有的承載頭無法滿足拋光均勻性的要求；并且，彈性膜為易損易耗品，其可能會與拋光墊、保持環(huán)等部件相互耦合，增加拋光壓力調(diào)控的難度。因此，需要優(yōu)化彈性膜的結(jié)構(gòu)，提升承載頭的適用功能，保證晶圓拋光的穩(wěn)定性。

實用新型內(nèi)容

本實用新型實施例提供了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的彈性膜和承載頭，旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

本實用新型實施例的第一方面提供了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的彈性膜，包括：

圓形的底板部；

外周壁，其包括直立部、褶皺部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周緣向上豎直延伸而成，所述褶皺部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皺部頂端朝向內(nèi)側(cè)水平延伸而成；

以及至少一個內(nèi)周壁，其同心設(shè)置于所述外周壁的內(nèi)側(cè)；

其中，所述褶皺部為開口向內(nèi)的梯形折邊。

在一些實施例中，所述褶皺部包括第一斜板、連接板和第二斜板，所述第一斜板自所述直立部朝外向上延伸，所述連接板自所述第一斜板的頂端豎向延伸，所述第二斜板自所述連接板的頂端朝內(nèi)向上延伸并與第一水平延伸部連接。

在一些實施例中，所述第二斜板與第一水平延伸部的連接處位于所述直立部的內(nèi)側(cè)。

在一些實施例中，所述連接板的厚度小于或等于所述第一斜板及第二斜板的厚度。

在一些實施例中，所述連接板的外沿位于所述直立部的外側(cè)。

在一些實施例中，所述直立部的外周面開設(shè)有環(huán)狀的凹槽，所述連接板的外沿與所述凹槽的內(nèi)周面對齊。

在一些實施例中，所述直立部的頂端設(shè)置有銜接部，所述銜接部沿所述直立部的內(nèi)沿向上延伸設(shè)置，所述褶皺部自所述銜接部的頂端折邊而成。

在一些實施例中，所述銜接部的厚度大于所述第一斜板或第二斜板的厚度。

在一些實施例中，所述第二斜板與所述第一水平延伸部的連接處位于所述銜接部的內(nèi)側(cè)。

本實用新型實施例的第二方面提供了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的彈性膜，其包括：

圓形的底板部；

外周壁，其包括直立部、褶皺部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周緣向上豎直延伸而成，所述褶皺部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皺部頂端朝向內(nèi)側(cè)水平延伸而成；

以及至少一個內(nèi)周壁，其同心設(shè)置于所述外周壁的內(nèi)側(cè)；