[實用新型]一種用于化學機械拋光的彈性膜和承載頭

有效

• 申請號: 202223573470.6
• 申請日: 2022-12-30
• 公開（公告）號: CN218891684U
• 公開（公告）日: 2023-04-21
• 發明（設計）人: 趙德文;溫世乾;孟松林;王宇
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/32
• 分類號: B24B37/32;B24B37/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于化學機械拋光的彈性膜，其特征在于，包括：

圓形的底板部；

外周壁，其包括直立部、褶皺部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周緣向上豎直延伸而成，所述褶皺部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皺部頂端朝向內側水平延伸而成；

以及至少一個內周壁，其同心設置于所述外周壁的內側；

其中，所述褶皺部為開口向內的梯形折邊。

2.如權利要求1所述的彈性膜，其特征在于，所述褶皺部包括第一斜板、連接板和第二斜板，所述第一斜板自所述直立部朝外向上延伸，所述連接板自所述第一斜板的頂端豎向延伸，所述第二斜板自所述連接板的頂端朝內向上延伸并與第一水平延伸部連接。

3.如權利要求2所述的彈性膜，其特征在于，所述第二斜板與第一水平延伸部的連接處位于所述直立部的內側。

4.如權利要求2所述的彈性膜，其特征在于，所述連接板的厚度小于或等于所述第一斜板及第二斜板的厚度。

5.如權利要求2所述的彈性膜，其特征在于，所述連接板的外沿位于所述直立部的外側。

6.如權利要求2所述的彈性膜，其特征在于，所述直立部的外周面開設有環狀的凹槽，所述連接板的外沿與所述凹槽的內周面對齊。

7.如權利要求2所述的彈性膜，其特征在于，所述直立部的頂端設置有銜接部，所述銜接部沿所述直立部的內沿向上延伸設置，所述褶皺部自所述銜接部的頂端折邊而成。

8.如權利要求7所述的彈性膜，其特征在于，所述銜接部的厚度大于所述第一斜板或第二斜板的厚度。

9.如權利要求7所述的彈性膜，其特征在于，所述第二斜板與所述第一水平延伸部的連接處位于所述銜接部的內側。

10.一種用于化學機械拋光的彈性膜，其特征在于，包括：

圓形的底板部；

外周壁，其包括直立部、褶皺部和第一水平延伸部，所述直立部沿所述底板部的周緣向上豎直延伸而成，所述褶皺部位于所述直立部之上，所述第一水平延伸部自所述褶皺部頂端朝向內側水平延伸而成；

以及至少一個內周壁，其同心設置于所述外周壁的內側；

所述褶皺部包括第一斜板、連接板和第二斜板，所述第一斜板自所述直立部朝外向上延伸，所述連接板自所述第一斜板的頂端向上延伸，所述第二斜板自所述連接板的頂端朝內向上延伸并與第一水平延伸部連接；

其中，所述褶皺部的厚度小于第一水平延伸部的厚度。

11.如權利要求10所述的彈性膜，其特征在于，所述第一水平延伸部的厚度較所述第二斜板的厚度至少大10％。

12.如權利要求10所述的彈性膜，其特征在于，所述第二斜板的厚度較所述第一斜板的厚度至少大10％。

13.如權利要求11所述的彈性膜，其特征在于，所述連接板的厚度等于所述第二斜板的厚度。

14.如權利要求12所述的彈性膜，其特征在于，所述第二斜板的厚度較第一斜板的厚度大10％～30％。

15.如權利要求10所述的彈性膜，其特征在于，所述連接板自所述第一斜板的頂端朝向彈性膜的內側向上延伸。

16.如權利要求15所述的彈性膜，其特征在于，所述連接板與所述第一水平延伸部的結合處的外沿與所述直立部的外側壁對齊。

17.如權利要求15所述的彈性膜，其特征在于，所述連接板與所述第一水平延伸部的夾角為50～80°。