[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223552657.8
• 申請日: 2022-12-29
• 公開（公告）號: CN219124365U
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設計）人: 劉雨微;科林·詹金斯;張睿
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技（新加坡）有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 深圳三用知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44859
• 代理人: 金晶

本實用新型提供了一種MEMS麥克風，其包括具有背腔的基底及設置在所述基底上的電容系統(tǒng)，所述電容系統(tǒng)包括背板以及與所述背板相對設置的振膜，所述振膜位于所述基底和所述背板之間，所述振膜和基底之間設有與所述振膜連接的加強部，所述加強部的內(nèi)表面沿所述振膜的振動方向的投影與所述背腔的內(nèi)表面齊平或位于所述背腔中，所述加強部包括刻蝕阻擋墻和位于所述刻蝕阻擋墻內(nèi)的犧牲層。與相關技術相比，本實用新型提供的MEMS麥克風可以增強產(chǎn)品的可靠性。

【技術領域】

本實用新型涉及電聲轉換領域，尤其涉及一種MEMS麥克風。

【背景技術】

近年來移動通信技術已經(jīng)得到快速發(fā)展，消費者越來越多地使用移動通信設備，例如便攜式電話、能上網(wǎng)的便攜式電話、個人數(shù)字助理或?qū)Ｓ猛ㄐ啪W(wǎng)絡進行通信的其他設備，其中麥克風則是其中重要的部件之一，特別是MEMS麥克風。

微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical?System，MEMS)麥克風是一種利用微機械加工技術制作出來的電能換聲器，其具有體積小、頻響特性好、噪聲低等特點。隨著電子設備的小巧化、輕薄化發(fā)展，MEMS麥克風被越來越廣泛地運用到這些設備上。

相關技術中的MEMS麥克風包括具有背腔的基底以及設置在所述基底上的電容系統(tǒng)，所述電容系統(tǒng)包括背板及與所述背板相對設置的振膜。振膜位于所述背板靠近所述基底的一側，振膜在振動過程中，尤其是大力撞擊時，振膜會與基底邊緣接觸，從而使MEMS的強度及可靠性降低。

因此，有必要提供一種改進的MEMS麥克風來解決上述問題。

【實用新型內(nèi)容】

本實用新型要解決的技術問題是提供一種可靠性較高的MEMS麥克風。

為解決上述技術問題，提供了一種MEMS麥克風，其包括具有背腔的基底及設置在所述基底上的電容系統(tǒng)，所述電容系統(tǒng)包括背板以及與所述背板相對設置的振膜，所述振膜位于所述基底和所述背板之間，所述振膜和基底之間設有與所述振膜連接的加強部，所述加強部的內(nèi)表面沿所述振膜的振動方向的投影與所述背腔的內(nèi)表面齊平或位于所述背腔中，所述加強部包括刻蝕阻擋墻和位于所述刻蝕阻擋墻內(nèi)的犧牲層。

優(yōu)選的，所述MEMS麥克風還包括連接所述背板和所述基底的連接部，所述振膜與所述連接部的內(nèi)表面連接。

優(yōu)選的，所述刻蝕阻擋墻包括自所述振膜向基底方向延伸的第一側墻以及位于所述振膜和基底之間并連接所述連接部和所述第一側墻的第二側壁。

優(yōu)選的，所述刻蝕阻擋墻還包括自所述振膜向所述基底延伸的若干擋壁，所述擋壁與所述基底連接并位于所述第一側墻和所述連接部之間。

優(yōu)選的，所述第一側墻沿所述振膜的振動方向的投影位于所述背腔中。

優(yōu)選的，所述第一側墻與所述背腔的內(nèi)表面齊平。

優(yōu)選的，所述刻蝕阻擋墻與所述振膜為一體結構。

與相關技術相比，通過在振膜和基底之間設置加強部，加強了振膜強度，并且可提高產(chǎn)品可靠性的作用。

【附圖說明】

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖，其中：

圖1為本實用新型第一實施例提供的MEMS麥克風的剖視圖；

圖2為本實用新型第二實施例提供的MEMS麥克風的剖視圖。

【具體實施方式】