[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 202223552657.8
• 申請日: 2022-12-29
• 公開（公告）號: CN219124365U
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 劉雨微;科林·詹金斯;張睿
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技（新加坡）有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 深圳三用知識產權代理事務所(普通合伙) 44859
• 代理人: 金晶

1.一種MEMS麥克風，其包括具有背腔的基底及設置在所述基底上的電容系統，所述電容系統包括背板以及與所述背板相對設置的振膜，所述振膜位于所述基底和所述背板之間，其特征在于，所述振膜和基底之間設有與所述振膜連接的加強部，所述加強部的內表面沿所述振膜的振動方向的投影與所述背腔的內表面齊平或位于所述背腔中，所述加強部包括刻蝕阻擋墻和位于所述刻蝕阻擋墻內的犧牲層。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述MEMS麥克風還包括連接所述背板和所述基底的連接部，所述振膜與所述連接部的內表面連接。

3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述刻蝕阻擋墻包括自所述振膜向基底方向延伸的第一側墻以及位于所述振膜和基底之間并連接所述連接部和所述第一側墻的第二側壁。

4.根據權利要求3所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述刻蝕阻擋墻還包括自所述振膜向所述基底延伸的若干擋壁，所述擋壁與所述基底連接并位于所述第一側墻和所述連接部之間。

5.根據權利要求3所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述第一側墻沿所述振膜的振動方向的投影位于所述背腔中。

6.根據權利要求3所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述第一側墻與所述背腔的內表面齊平。

7.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述刻蝕阻擋墻與所述振膜為一體結構。