[實用新型]一種蒸鍍掩膜版

有效

• 申請號: 202223545097.3
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號: CN218989369U
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 吳義超;王煦;戴雷;蔡麗菲
• 申請（專利權）人: 廣東阿格蕾雅光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 譚志鵬

本實用新型公開一種蒸鍍掩膜版，包括掩膜框架、掩膜網片和支撐架；掩膜框架具有貫穿上下的通孔，掩膜網片位于掩膜框架上方并設在通孔內，掩膜網片與掩膜框架連接，掩膜網片具有多個貫穿上下的掩膜通孔，掩膜網片的下表面設有多個待支撐點，支撐架設有多個支撐部，支撐架的下端與通孔的內壁面連接，多個支撐部分別與多個待支撐點連接，沿上下方向看，支撐架避讓掩膜通孔設置。將掩膜網片張拉并固定在掩膜框架時，支撐架的支撐部會支撐著待支撐點，支撐架與掩膜網片的連接點、掩膜網片與掩膜框架的連接點及掩膜框架與支撐架的連接點圍成穩定的三角支撐結構，避免掩膜網片因其重力而出現網面下垂及張網拉力過大導致掩膜網片的網面產生形變。

技術領域

本實用新型屬于顯示技術領域，特別涉及一種蒸鍍掩膜版。

背景技術

有機發光二極管(也即OLED)具有更輕薄、更具柔韌性、耐低溫、視野范圍更廣、響應速度更快、功耗低、寬溫度特性、低驅動電壓以及能實現高分辨率顯示等優點，是近十年來顯示領域最具前景的研究熱點。其中，金屬掩膜版是OLED產品蒸鍍工藝中的核心治具之一，通過金屬掩膜版上的開口圖案對蒸鍍區域進行限制。金屬掩膜版的制作要通過張網工藝，將金屬掩膜版使用一定拉力張拉之后，再使用激光將金屬掩膜版焊接在掩膜框架上，以抵抗網面重力造成的網面下垂量，但張網拉力過大容易會使網面產生面內形變，影響網面圖案的位置精度。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型目的在于提供一種蒸鍍掩膜版，能防止掩膜網片因其網面重力而容易發生形變，而且，在張網工藝中可減少張網拉力以避免掩膜網片的網面產生面內形變。

為解決上述技術問題所采用的技術方案：

本實用新型公開了一種蒸鍍掩膜版，包括掩膜框架、掩膜網片和支撐架；所述掩膜框架具有貫穿上下的通孔，所述掩膜網片位于所述掩膜框架的上方并設在所述通孔內，所述掩膜網片與所述掩膜框架連接，所述掩膜網片具有多個貫穿上下的掩膜通孔，所述掩膜網片的下表面設有多個待支撐點，所述支撐架設有多個支撐部，所述支撐架的下端與所述通孔的內壁面連接，多個所述支撐部分別與多個所述待支撐點連接，沿上下方向看，所述支撐架避讓所述掩膜通孔設置。

本實用新型至少具有如下的有益效果：掩膜網片固定在掩膜框架上，掩膜網片具有多個掩膜通孔，因此，在蒸鍍時，有機發光材料能通過通孔和掩膜通孔后沉積在上方的待蒸鍍器件的表面上；掩膜網片的下表面設置多個待支撐點，相應的，掩膜框架上的支撐架設置有多個支撐部，在張網過程中，掩膜網片因受到一定的拉力而被張拉并固定在掩膜框架上，此時，支撐架的支撐部能對掩膜網片的待支撐點施以支撐作用，支撐架與掩膜網片的連接點、掩膜網片與掩膜框架的連接點以及掩膜框架與支撐架的連接點共同圍成穩定的三角支撐結構，促使掩膜網片能夠得到有力的支撐，避免掩膜網片因其網面重力而出現網面下垂，同時還可解決張網拉力過大而導致掩膜網片的網面產生形變，從而造成掩膜網片的網面圖案的位置精度下降的問題；沿上下方向看，支撐架避讓掩膜通孔設置，以避免在蒸鍍時待通過掩膜通孔的有機發光材料因支撐架的阻擋作用而無法很好的沉積在器件上。

作為上述技術方案的進一步改進，所述掩膜網片包括支撐掩膜條和遮擋掩膜條，所述支撐掩膜條和遮擋掩膜條一體成型，所述支撐掩膜條沿前后延伸，所述支撐掩膜條設有多根且沿左右間隔排布，所述遮擋掩膜條沿左右延伸，所述遮擋掩膜條設有多根且沿前后間隔排布，相鄰兩根所述支撐掩膜條與相鄰兩根所述遮擋掩膜條共同限定出所述掩膜通孔。如此設置，促使掩膜網片形成多個相隔排列的掩膜通孔，以便蒸鍍時有機發光材料通過，而且，支撐掩膜條和遮擋掩膜條一體成型，令支撐掩膜條和遮擋掩膜條連接強度增加，有助提高掩膜網片的抗變形能力和平整度。

作為上述技術方案的進一步改進，所述掩膜網片通過張網工藝焊接在所述掩膜框架。如此設置，能夠令掩膜網片穩穩固定在掩膜框架上，以抵抗掩膜網片的網面重力而造成網面下垂，有助提升掩膜網片的平整度。