[實(shí)用新型]一種蒸鍍掩膜版

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223545097.3
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN218989369U
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳義超;王煦;戴雷;蔡麗菲
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東阿格蕾雅光電材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 譚志鵬

1.一種蒸鍍掩膜版，其特征在于，包括掩膜框架、掩膜網(wǎng)片和支撐架；所述掩膜框架具有貫穿上下的通孔，所述掩膜網(wǎng)片位于所述掩膜框架的上方并設(shè)在所述通孔內(nèi)，所述掩膜網(wǎng)片與所述掩膜框架連接，所述掩膜網(wǎng)片具有多個(gè)貫穿上下的掩膜通孔，所述掩膜網(wǎng)片的下表面設(shè)有多個(gè)待支撐點(diǎn)，所述支撐架設(shè)有多個(gè)支撐部，所述支撐架的下端與所述通孔的內(nèi)壁面連接，多個(gè)所述支撐部分別與多個(gè)所述待支撐點(diǎn)連接，沿上下方向看，所述支撐架避讓所述掩膜通孔設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，所述掩膜網(wǎng)片包括支撐掩膜條和遮擋掩膜條，所述支撐掩膜條和遮擋掩膜條一體成型，所述支撐掩膜條沿前后延伸，所述支撐掩膜條設(shè)有多根且沿左右間隔排布，所述遮擋掩膜條沿左右延伸，所述遮擋掩膜條設(shè)有多根且沿前后間隔排布，相鄰兩根所述支撐掩膜條與相鄰兩根所述遮擋掩膜條共同限定出所述掩膜通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，所述掩膜網(wǎng)片通過張網(wǎng)工藝焊接在所述掩膜框架。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，每根所述支撐掩膜條沿其長度方向設(shè)有多個(gè)所述待支撐點(diǎn)，所述支撐架設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述支撐架沿左右排布并與多根所述支撐掩膜條相對應(yīng)，每個(gè)所述支撐架包括多根傾斜設(shè)置的支撐條，多根所述支撐條的上端分別與多個(gè)所述待支撐點(diǎn)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，所述待支撐點(diǎn)設(shè)在所述支撐掩膜條和所述遮擋掩膜條的連接處。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，每根所述支撐掩膜條的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)有所述支撐架，位于所述支撐掩膜條前后兩側(cè)的兩個(gè)所述支撐架關(guān)于所述支撐掩膜條的中部對稱設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，在每個(gè)所述支撐架中，多根所述支撐條的下端相連接，并與所述掩膜框架連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，沿上下方向看，所述支撐條與所述支撐掩膜條重合。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，所述支撐條的橫截面形狀為方形。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍掩膜版，其特征在于，所述支撐條為金剛石條、石英條、玻璃條和因瓦金屬條中的一種。