[實用新型]一種可控硅門極條的輻照加工工裝

有效

• 申請號: 202223507069.2
• 申請日: 2022-12-28
• 公開（公告）號: CN218957672U
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發明（設計）人: 翟建青;華寧;宋堅;錢小娟;李兆金
• 申請（專利權）人: 揚州揚福科技有限公司
• 主分類號: H01L21/28
• 分類號: H01L21/28;H01L21/68
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 董旭東

1.一種可控硅門極條的輻照加工工裝，包括可互相蓋合的上蓋板和底板，所述上蓋板的下平面上設有凸臺，所述底板的上平面上設有凹槽，其特征在于：所述上蓋板上開設有門極條輻照孔，所述底板上設有用于存放可控硅芯片的可控硅放置孔，所述門極條輻照孔為方形的條狀槽孔，所述條狀槽孔的中心位置與所述可控硅放置孔的中心位置相對應。

2.根據權利要求1所述的一種可控硅門極條的輻照加工工裝，其特征在于：所述門極條輻照孔陣列排布設置在上蓋板上，所述可控硅放置孔與所述門極條輻照孔對應設置，所述門極條輻照孔的長度不小于可控硅芯片的直徑。

3.根據權利要求1所述的一種可控硅門極條的輻照加工工裝，其特征在于：所述凸臺與凹槽上對應設有定位用的倒角。

4.根據權利要求1所述的一種可控硅門極條的輻照加工工裝，其特征在于：所述上蓋板的一個側邊上設有用于掀開上蓋板的提手。

5.根據權利要求1所述的一種可控硅門極條的輻照加工工裝，其特征在于：所述上蓋板和底板由可阻擋電子射線通過的金屬材料制成。

6.根據權利要求1所述的一種可控硅門極條的輻照加工工裝，其特征在于：所述上蓋板下平面上凸臺的高度與所述底板上平面上凹槽的高度一致。