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[實用新型]碳化硅腐蝕爐有效

專利信息
申請號: 202223501433.4 申請日: 2022-12-27
公開(公告)號: CN218994038U 公開(公告)日: 2023-05-09
發明(設計)人: 張世有;張雪;崔孟華;周維 申請(專利權)人: 比亞迪股份有限公司;汕尾比亞迪實業有限公司
主分類號: F27B17/00 分類號: F27B17/00;F27D21/00
代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442 代理人: 周禮濤
地址: 518118 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 碳化硅 腐蝕
【權利要求書】:

1.一種碳化硅腐蝕爐,其特征在于,包括:

爐體;

爐蓋,所述爐蓋蓋合在所述爐體上,所述爐蓋內設有腔室,所述腔室內可活動地設有第一腔門,以將所述腔室分隔為第一腔體和第二腔體,且所述第二腔體沿水平方向延伸至所述爐蓋的側邊,以用于由所述第二腔體取放待測樣品,所述爐蓋的側邊設有第二腔門,以關閉所述第二腔體;

盛料件,所述盛料件設在所述爐體內,且所述盛料件的位置與所述第一腔體的位置相對應;所述盛料件內用于盛放堿料,所述待測樣品通過所述第二腔體伸入所述第一腔體,且與所述盛料件的位置相對應,以用于對所述待測樣品進行性能表征;

加熱組件,所述加熱組件設在所述爐體內,且位于所述盛料件的底部,以對所述盛料件進行加熱。

2.根據權利要求1所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述第二腔體的截面為倒T形,所述第二腔體在所述爐蓋的側邊形成倒T形的開口。

3.根據權利要求1所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述爐蓋的截面呈方形,所述爐蓋的朝向所述爐體的一側的內壁為斜壁,所述斜壁由所述第一腔體朝向所述第二腔體向上傾斜延伸。

4.根據權利要求1所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述爐蓋內設有熱電偶,所述熱電偶具有鎳包裹層,所述熱電偶的一端與所述爐蓋連接,另一端伸入所述盛料件內,且所述熱電偶的高度與所述待測樣品在所述第一腔體內的高度齊平。

5.根據權利要求3所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述爐蓋內還設有激光測距儀,所述激光測距儀設在所述斜壁上,且所述激光測距儀的位置與所述盛料件的位置相對應。

6.根據權利要求1所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述爐蓋內設有第一保溫件,所述爐蓋的內壁設有鎳制保護層。

7.根據權利要求1所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述盛料件為鎳坩堝,所述盛料件設有第二保溫件。

8.根據權利要求1所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述加熱組件包括:

電磁爐模塊,所述電磁爐模塊設在所述盛料件的底部,以對所述盛料件進行磁感應渦流加熱;

控制模塊,所述控制模塊與所述電磁爐模塊連接,以控制或調節所述電磁爐模塊的加熱功率。

9.根據權利要求8所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述電磁爐模塊包括:

線圈盤,所述線圈盤設在所述盛料件的底部;

測溫電偶,所述測溫電偶與所述線圈盤間隔設置,所述測溫電偶位于所述盛料件的底部的中心位置。

10.根據權利要求8所述的碳化硅腐蝕爐,其特征在于,所述爐蓋上設有第一顯示屏,所述控制模塊包括第二顯示屏。

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