[實用新型]一種應用于超聲波清洗中的滾輪結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223500393.1
• 申請日: 2022-12-27
• 公開（公告）號: CN218835412U
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發(fā)明（設計）人: 程強強;歐陽釗;馮華
• 申請（專利權）人: 釜川（無錫）智能科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州今邁知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32524
• 代理人: 沈月玲

1.一種應用于超聲波清洗中的滾輪結構，安裝于裝有溶液的清洗槽內，所述清洗槽的上下兩側分別設有至少一組超聲波清洗機，其特征在于，所述滾輪結構包括阻水滾輪和若干上壓滾輪，所述阻水滾輪和上壓滾輪均為浮動滾輪；所述阻水滾輪與所述上壓滾輪平行設置且與硅片的傳送方向垂直，所述阻水滾輪分別設置于所述清洗槽的前壁和后壁處，每組所述阻水滾輪包括垂向疊放的兩層或三層；若干所述上壓滾輪排布于所述清洗槽內；所述清洗槽內的溶液的液位低于最上層的所述阻水滾輪的上表面，高于所述上壓滾輪的下表面，硅片從所述上壓滾輪和最下層的所述阻水滾輪的下方穿過。

2.如權利要求1所述的應用于超聲波清洗中的滾輪結構，其特征在于，所述阻水滾輪包括第一滾輪軸、第一直齒輪以及第一套管，所述第一直齒輪固定于所述第一滾輪軸的端部，上下兩層所述阻水滾輪通過所述第一直齒輪相互嚙合傳動；所述第一套管套設于所述第一滾輪軸上，且所述第一滾輪軸的外徑與所述第一套管的內徑之間設有第一間隙；所述第一套管的兩端分別設有用于軸向定位的定位隔環(huán)。

3.如權利要求2所述的應用于超聲波清洗中的滾輪結構，其特征在于，所述第一套管采用PP-H材料制成。

4.如權利要求2所述的應用于超聲波清洗中的滾輪結構，其特征在于，所述第一間隙為單側2mm。

5.如權利要求2所述的應用于超聲波清洗中的滾輪結構，其特征在于，所述第一套管為沿軸向設置的多個，多個所述第一套管之間設有隔離片。

6.如權利要求1所述的應用于超聲波清洗中的滾輪結構，其特征在于，所述上壓滾輪包括第二滾輪軸、第二直齒輪以及多個間隔設置的第二套管，所述第二直齒輪固定于所述第二滾輪軸的端部；多個所述第二套管沿軸向分布并分別套設于所述第二滾輪軸上，每個所述第二滾輪軸的外徑與所述第二套管的內徑之間設有第二間隙；每個所述第二套管的兩端分別設有用于軸向定位的定位片。

7.如權利要求6所述的應用于超聲波清洗中的滾輪結構，其特征在于，每個所述第二套管上設有若干凸環(huán)。