[實(shí)用新型]一種應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223500393.1
• 申請(qǐng)日: 2022-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN218835412U
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程強(qiáng)強(qiáng);歐陽釗;馮華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 釜川（無錫）智能科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州今邁知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32524
• 代理人: 沈月玲

本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)，安裝于裝有溶液的清洗槽內(nèi)，清洗槽的上下兩側(cè)分別設(shè)有至少一組超聲波清洗機(jī)，滾輪結(jié)構(gòu)包括阻水滾輪和若干上壓滾輪，阻水滾輪和上壓滾輪均為浮動(dòng)滾輪；阻水滾輪與上壓滾輪平行設(shè)置且與硅片的傳送方向垂直，阻水滾輪分別設(shè)置于清洗槽的前壁和后壁處，每組阻水滾輪包括垂向疊放的兩層或三層；若干上壓滾輪排布于清洗槽內(nèi)；清洗槽內(nèi)的溶液的液位低于最上層的阻水滾輪的上表面，高于上壓滾輪的下表面，硅片從上壓滾輪和最下層的阻水滾輪的下方穿過。本申請(qǐng)中，阻水滾輪和上壓滾輪均采用浮動(dòng)滾輪，避免硅片漂浮繼而跑偏，導(dǎo)致硅片損壞；同時(shí)采用垂向疊放的兩層或三層阻水滾輪，避免溶液快速滲漏。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片必須經(jīng)過嚴(yán)格的清洗，因?yàn)榧词故俏⒘课廴疽矔?huì)導(dǎo)致器件失效。目前清除硅片表面污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。化學(xué)清洗即為令硅片經(jīng)過清潔溶液，以除去原子、離子等不可見的污染；物理清洗包括擦洗、噴射、超聲波等，以除去顆粒污染。現(xiàn)已出現(xiàn)將兩種清洗方式相結(jié)合的情況，例如同時(shí)采用化學(xué)清洗和超聲波清洗，但是由于超聲波清洗中需要溶液具有較深的深度，而溶液深度過大則會(huì)導(dǎo)致槽體易漏液，以及浮力加大導(dǎo)致的硅片易漂浮、滾輪易損壞硅片等一系列問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)，以解決上述技術(shù)問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)，安裝于裝有溶液的清洗槽內(nèi)，所述清洗槽的上下兩側(cè)分別設(shè)有至少一組超聲波清洗機(jī)，所述滾輪結(jié)構(gòu)包括阻水滾輪和若干上壓滾輪，所述阻水滾輪和上壓滾輪均為浮動(dòng)滾輪；所述阻水滾輪與所述上壓滾輪平行設(shè)置且與硅片的傳送方向垂直，所述阻水滾輪分別設(shè)置于所述清洗槽的前壁和后壁處，每組所述阻水滾輪包括垂向疊放的兩層或三層；若干所述上壓滾輪排布于所述清洗槽內(nèi)；所述清洗槽內(nèi)的溶液的液位低于最上層的所述阻水滾輪的上表面，高于所述上壓滾輪的下表面，硅片從所述上壓滾輪和最下層的所述阻水滾輪的下方穿過。

較佳地，所述阻水滾輪包括第一滾輪軸、第一直齒輪以及第一套管，所述第一直齒輪固定于所述第一滾輪軸的端部，上下兩層所述阻水滾輪通過所述第一直齒輪相互嚙合傳動(dòng)；所述第一套管套設(shè)于所述第一滾輪軸上，且所述第一滾輪軸的外徑與所述第一套管的內(nèi)徑之間設(shè)有第一間隙；所述第一套管的兩端分別設(shè)有用于軸向定位的定位隔環(huán)。

較佳地，所述第一套管采用PP-H材料制成。

較佳地，所述第一間隙為單側(cè)2mm。

較佳地，所述第一套管為沿軸向設(shè)置的多個(gè)，多個(gè)所述第一套管之間設(shè)有隔離片。

較佳地，所述上壓滾輪包括第二滾輪軸、第二直齒輪以及多個(gè)間隔設(shè)置的第二套管，所述第二直齒輪固定于所述第二滾輪軸的端部；多個(gè)所述第二套管沿軸向分布并分別套設(shè)于所述第二滾輪軸上，每個(gè)所述第二滾輪軸的外徑與所述第二套管的內(nèi)徑之間設(shè)有第二間隙；每個(gè)所述第二套管的兩端分別設(shè)有用于軸向定位的定位片。

較佳地，每個(gè)所述第二套管上設(shè)有若干凸環(huán)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)具有如下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型中，阻水滾輪和上壓滾輪均采用浮動(dòng)滾輪，對(duì)應(yīng)于浸泡區(qū)(有溶液且液位較深)，硅片浮力加大，此時(shí)硅片可推動(dòng)阻水滾輪和上壓滾輪適當(dāng)上浮，避免硅片被滾輪壓壞；對(duì)應(yīng)于非浸泡區(qū)(無溶液或液位較淺)，阻水滾輪和上壓滾輪可以利用自身重力壓住硅片，避免硅片出現(xiàn)漂浮，從而導(dǎo)致硅片跑偏，繼而引起硅片的損壞；

2、本實(shí)用新型采用垂向疊放的兩層或三層阻水滾輪進(jìn)行阻水，避免由于超聲波清洗要求而引起的液位變高，繼而導(dǎo)致的溶液快速滲漏問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一具體實(shí)施方式中應(yīng)用于超聲波清洗中的滾輪結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；