[實用新型]一種晶圓搬運手指

有效

• 申請號: 202223485645.8
• 申請日: 2022-12-26
• 公開（公告）號: CN219066801U
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 張延權;王利;莫科偉
• 申請（專利權）人: 吉姆西半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 深圳市廣諾專利代理事務所(普通合伙) 44611
• 代理人: 王嘉佩

1.一種晶圓搬運手指，其特征在于，包括：

搬運板(1)，所述搬運板(1)上設有插片槽(11)，所述插片槽(11)為圓形槽，且位于所述搬運板(1)的端部；及

搬運塊(2)，所述搬運塊(2)固定在所述插片槽(11)上，且對環形陣列設有四個，所述搬運塊(2)上設有搬運桿(21)和搬運凸臺(22)，所述搬運桿(21)設置在所述搬運塊(2)的一側，所述搬運凸臺(22)設置在所述搬運桿(21)的端部，且所述搬運凸臺(22)的頂面位于所述搬運桿(21)的上方，用于抵在晶圓的背面。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，所述搬運凸臺(22)的長和寬均為2mm。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，

所述搬運塊(2)上設有導入斜面(26)，且所述導入斜面(26)為圓弧形。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，

所述搬運塊(2)與晶圓相對的面為圓弧面(24)。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，所述搬運塊(2)上設有避位槽(25)，所述避位槽(25)與晶圓相對設置。

6.根據權利要求1至5任一項所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，所述插片槽(11)的頂部設有倒角(13)。

7.根據權利要求1至5任一項所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，所述插片槽(11)的兩側對稱設有抓取槽(12)。

8.根據權利要求1至5任一項所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，所述搬運板(1)上還設有減重槽(15)，所述減重槽(15)與所述插片槽(11)相通。

9.根據權利要求1至5任一項所述的一種晶圓搬運手指，其特征在于，所述搬運桿(21)與所述搬運塊(2)之間圓弧過渡連接。