[實用新型]一種晶圓搬運手指

有效

• 申請號: 202223485645.8
• 申請日: 2022-12-26
• 公開（公告）號: CN219066801U
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 張延權;王利;莫科偉
• 申請（專利權）人: 吉姆西半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 深圳市廣諾專利代理事務所(普通合伙) 44611
• 代理人: 王嘉佩

本實用新型涉及一種晶圓搬運，尤其是一種晶圓搬運手指，包括：搬運板，所述搬運板上設有插片槽，所述插片槽為圓形槽，且位于所述搬運板的端部；及搬運塊，所述搬運塊固定在所述插片槽上，且對環形陣列設有四個，所述搬運塊上設有搬運桿和搬運凸臺，所述搬運桿設置在所述搬運塊的一側，所述搬運凸臺設置在所述搬運桿的端部，且所述搬運凸臺的頂面位于所述搬運桿的上方，用于抵在晶圓的背面。本實用新型提供的一種晶圓搬運手指通過對稱設置的四個夾爪實現晶圓的抓取，夾爪與晶圓的接觸面積小，不影響晶圓，并且能夠有效鎖定晶圓，防止晶圓滑落，同時端部為開口式，方便插入到設備上。

技術領域

本實用新型涉及一種晶圓搬運，尤其是一種晶圓搬運手指

背景技術

晶圓的生產基本為流行性，因此需要搬運，使晶圓從一個工位移動到另一個工位上。現有的晶圓搬運裝置如中國專利CN210551302U公開的一種晶圓搬運機械手，其結構復雜，成本孔，還需要進行晶圓的夾緊和旋轉的控制，對于常規的搬運并不實用，操作復雜。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種結構簡單、成本低、使用方便的一種晶圓搬運手指，具體技術方案為：

一種晶圓搬運手指，包括：搬運板，所述搬運板上設有插片槽，所述插片槽為圓形槽，且位于所述搬運板的端部；及搬運塊，所述搬運塊固定在所述插片槽上，且對環形陣列設有四個，所述搬運塊上設有搬運桿和搬運凸臺，所述搬運桿設置在所述搬運塊的一側，所述搬運凸臺設置在所述搬運桿的端部，且所述搬運凸臺的頂面位于所述搬運桿的上方，用于抵在晶圓的背面。

優選的，所述搬運凸臺的長和寬均為2mm。

優選的，所述搬運塊上設有導入斜面，且所述導入斜面為圓弧形。

優選的，所述搬運塊與晶圓相對的面為圓弧面。

優選的，所述搬運塊上設有避位槽，所述避位槽與晶圓相對設置。

優選的，所述插片槽的頂部設有倒角。

優選的，所述插片槽的兩側對稱設有抓取槽。

優選的，所述搬運板上還設有減重槽，所述減重槽與所述插片槽相通。

優選的，所述搬運桿與所述搬運塊之間圓弧過渡連接。

與現有技術相比本實用新型具有以下有益效果：

本實用新型提供的一種晶圓搬運手指通過對稱設置的四個夾爪實現晶圓的抓取，夾爪與晶圓的接觸面積小，不影響晶圓，并且能夠有效鎖定晶圓，防止晶圓滑落，同時端部為開口式，方便插入到設備上。

附圖說明

圖1是一種晶圓搬運手指的結構示意圖；

圖2是一種晶圓搬運手指的俯視圖；

圖3是一種晶圓搬運手指裝有晶圓的結構示意圖；

圖4是一種晶圓搬運手指裝有晶圓的俯視圖；

圖5是搬運板的結構示意圖；

圖6是圖5中I處的局部放大圖；

圖7是搬運塊的結構示意圖；

圖8是搬運塊的俯視圖；

圖9是搬運塊的側視圖。

具體實施方式

現結合附圖對本實用新型作進一步說明。