[實用新型]一種光路切換裝置及激光加工設備

有效

• 申請號: 202223467310.3
• 申請日: 2022-12-26
• 公開（公告）號: CN219293033U
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 黃偉耿;李東宇;曾威;尹建剛;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族半導體裝備科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請涉及激光加工技術領域，具體而言，涉及一種光路切換裝置及激光加工設備。光路切換裝置包括底座、第一光路組件、第二光路組件，第一光路組件包括第一光路通道，第一光路組件安裝于底座上，激光經第一光路通道射出時的出射光束為第一光束；第二光路組件包括第二光路通道，第二光路組件活動安裝于底座上，第二光路組件適于移入或移出第一光路通道，激光經第二光路通道射出時的出射光束為第二光束。本申請通過將第二光路組件移入或移出第一光路通道，使得激光光束可以在第一光束和第二光束之間切換，從而可以針對不同的產品選擇第一光束或第二光束對產品進行對應性加工，保障產品整體激光加工的一致性。

技術領域

本實用新型涉及激光加工技術領域，具體而言，涉及一種光路切換裝置及激光加工設備。

背景技術

LED晶圓長條晶產品是一種長條狀LED芯片晶圓，TCUT光路系統可以提升晶粒切后的對抗折斷強度，但是對于對長寬比大于5:1的長條晶產品(長邊超過1000um)，僅采用單一的光束對其進行切割且長邊和短邊的切割效果會存在一定的差別，一致性較差；而如果更換到不同的切割設備去進行二次切割，會增加整體的工作流程，效率隨之下降。

實用新型內容

本實用新型解決的問題是現有切割流程導致的切割質量與加工效率過低。

一方面，為解決上述問題，本實用新型提供一種光路切換裝置，所述光路切換裝置包括第一光路通道，所述第一光路組件安裝于所述底座上，激光經所述第一光路通道射出時的出射光束為第一光束；所述第二光路組件包括第二光路通道，所述第二光路組件活動安裝于所述底座上，所述第二光路組件適于移入或移出所述第一光路通道，所述激光經所述第二光路通道射出時的出射光束為第二光束。

可選地，所述光路切換裝置還包括驅動機構，所述驅動機構安裝于所述底座上，所述驅動機構與所述第二光路組件驅動連接，所述驅動機構適于驅動所述第二光路組件沿第一方向移動。

可選地，所述底座上設置有電磁鐵，所述第二光路組件包括安裝座，所述電磁鐵位于所述安裝座靠近所述驅動機構的一側，當所述第二光路組件移入所述第一光路通道時，所述電磁鐵用于吸附所述安裝座以實現所述第二光路組件的固定。

可選地，所述電磁鐵的數量為兩個，所述驅動機構位于兩個所述電磁鐵之間。

可選地，所述底座上設置有限位塊，所述安裝座上設置有緩沖件，所述限位塊位于所述緩沖件和所述驅動機構之間，所述緩沖件適于與所述限位塊止擋配合。

可選地，所述安裝座上還設置有滑塊結構，所述底座上還設置有滑軌結構，所述滑塊結構與所述滑軌結構滑動連接。

可選地，所述底座上還設置有限位件，所述限位件位于所述安裝座靠近所述驅動機構的一側，所述限位件用于所述滑塊結構的限位。

可選地，所述第二光路組件還包括第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡和所述第二透鏡活動安裝在所述安裝座上，所述第一透鏡和所述第二透鏡適于沿第二方向移動。

可選地，所述第一光路組件包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第二光路組件適于在所述第一反射鏡和所述第二反射鏡之間沿所述第一方向移動。

另一方面，本實用新型實施例還提供一種激光加工設備，包括如上所述的光路切換裝置。

相對于現有技術，本實用新型實施例提供的光路切換裝置所具有的有益效果是：

通過可相對于底座移動的第二光路組件，可以將第二光路組件移入或移出第一光路組件的第一光路通道，使得第二光路通道與第一光路通道重疊或錯位，出射的激光光束可以在第一光束和第二光束之間切換，從而可以針對不同的產品選擇第一光束或第二光束對產品進行對應性加工，保障產品整體激光加工的一致性。

附圖說明

圖1為本實用新型的光路切換裝置的一實施例結構示意圖；