[實用新型]一種光路切換裝置及激光加工設備

有效

• 申請號: 202223467310.3
• 申請日: 2022-12-26
• 公開（公告）號: CN219293033U
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 黃偉耿;李東宇;曾威;尹建剛;高云峰
• 申請（專利權）人: 深圳市大族半導體裝備科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光路切換裝置，其特征在于，包括：

底座；

第一光路組件，所述第一光路組件包括第一光路通道，所述第一光路組件安裝于所述底座上，激光經所述第一光路通道射出時的出射光束為第一光束；

第二光路組件，所述第二光路組件包括第二光路通道，所述第二光路組件活動安裝于所述底座上，所述第二光路組件適于移入或移出所述第一光路通道，所述激光經所述第二光路通道射出時的出射光束為第二光束。

2.根據權利要求1所述的光路切換裝置，其特征在于，還包括驅動機構，所述驅動機構安裝于所述底座上，所述驅動機構與所述第二光路組件驅動連接，所述驅動機構適于驅動所述第二光路組件沿第一方向移動。

3.根據權利要求2所述的光路切換裝置，其特征在于，所述底座上設置有電磁鐵，所述第二光路組件包括安裝座，所述電磁鐵位于所述安裝座靠近所述驅動機構的一側，當所述第二光路組件移入所述第一光路通道時，所述電磁鐵用于吸附所述安裝座以實現所述第二光路組件的固定。

4.根據權利要求3所述的光路切換裝置，其特征在于，所述電磁鐵的數量為兩個，所述驅動機構位于兩個所述電磁鐵之間。

5.根據權利要求3所述的光路切換裝置，其特征在于，所述底座上設置有限位塊，所述安裝座上設置有緩沖件，所述限位塊位于所述緩沖件和所述驅動機構之間，所述緩沖件適于與所述限位塊止擋配合。

6.根據權利要求3所述的光路切換裝置，其特征在于，所述安裝座上還設置有滑塊結構，所述底座上還設置有滑軌結構，所述滑塊結構與所述滑軌結構滑動連接。

7.根據權利要求6所述的光路切換裝置，其特征在于，所述底座上還設置有限位件，所述限位件位于所述安裝座靠近所述驅動機構的一側，所述限位件用于所述滑塊結構的限位。

8.根據權利要求3所述的光路切換裝置，其特征在于，所述第二光路組件還包括第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡和所述第二透鏡活動安裝在所述安裝座上，所述第一透鏡和所述第二透鏡適于沿第二方向移動。

9.根據權利要求2所述的光路切換裝置，其特征在于，所述第一光路組件包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第二光路組件適于在所述第一反射鏡和所述第二反射鏡之間沿所述第一方向移動。

10.一種激光加工設備，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的光路切換裝置。