[實用新型]一種模塊綜測校準機

有效

• 申請號: 202223465560.3
• 申請日: 2022-12-23
• 公開（公告）號: CN219179554U
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 李振果;李輝;高炳程;劉東輝;蔡躍祥;羅添仁
• 申請（專利權）人: 廈門宏泰智能制造有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/01;G01R1/04
• 代理公司: 廈門創象知識產權代理有限公司 35232
• 代理人: 葉秀紅

1.一種模塊綜測校準機，其特征在于，包括可擴展框架、以及設置于所述可擴展框架內的進料機構、多個屏蔽測試機構以及至少一個抓取機構：

進料機構，用于輸送待測試芯片；

多個所述屏蔽測試機構沿所述進料機構的進料方向分別設置于所述進料機構的兩側；所述屏蔽測試機構包括用于進行芯片測試的測試工裝以及用于屏蔽干擾信號的屏蔽箱，所述測試工裝設置于所述屏蔽箱內；

所述抓取機構設置于所述進料機構的上方，所述抓取機構包括驅動連接的第一移動組件和機械手，所述第一移動組件包括第一滑軌、第一滑塊以及第一驅動件，所述第一滑軌橫設于所述進料機構的上方，所述第一驅動件可驅動所述第一滑塊在所述第一滑軌上往復運動；所述機械手與所述第一滑塊相連接，且包含多個吸嘴升降組；所述機械手可在所述第一移動組件的驅動下從所述進料機構上抓取所述待測試芯片，并分別移送至所述進料機構兩側的測試機構進行測試。

2.根據權利要求1所述的模塊綜測校準機，其特征在于，所述抓取機構還包括第二移動組件；所述第二移動組件包括第二驅動件以及兩對相配合的第二滑軌和第二滑塊，兩個所述第二滑軌沿所述進料方向分別設置于所述進料機構的兩側，所述第一滑軌架設于兩個所述第二滑塊上，所述第二驅動件可驅動所述第二滑塊沿所述第一滑軌往復運動。

3.根據權利要求2所述的模塊綜測校準機，其特征在于，所述進料機構的每一側包含多個所述屏蔽測試機構。

4.根據權利要求1所述的模塊綜測校準機，其特征在于，所述屏蔽箱包括上蓋以及殼體，所述上蓋與所述殼體形成一容納腔；所述屏蔽箱還包括驅動連接的抬升組件和推送組件，所述抬升組件與所述上蓋相連接，用于抬升所述上蓋，所述推送組件可在所述上蓋抬升時，帶動所述抬升組件進而帶動所述上蓋離開所述殼體的上方。

5.根據權利要求4所述的模塊綜測校準機，其特征在于，所述抬升組件包括設置于所述上蓋兩側的兩個第三驅動件，所述第三驅動件的驅動端與所述上蓋連接；所述推送組件包括第四驅動件以及設置于所述殼體兩側的兩對相配合的第三滑軌和第三滑塊，所述第三驅動件的固定端與所述第三滑塊相連接，所述第四驅動件可驅動所述第三滑塊沿所述第三滑軌往復運動。

6.根據權利要求1所述的模塊綜測校準機，其特征在于，還包括視覺定位機構，與所述進料機構相對設置，所述視覺定位機構用于對所述進料機構上的待測試芯片進行定位。