[實用新型]降氧裝置和具有其的單晶爐熱場

有效

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• 申請日: 2022-12-22
• 公開（公告）號: CN218989462U
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉磊;張華利;汪晨;武鵬;樓杭炯;周潔
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06;C30B15/16
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本實用新型公開了一種降氧裝置和具有其的單晶爐熱場，降氧裝置用于單晶爐熱場，單晶爐熱場包括爐體、保溫筒、坩堝、側(cè)加熱器、底加熱器和降氧裝置，其中，保溫筒自上而下依次包括上保溫筒、中保溫筒和下保溫筒，降氧裝置包括支撐環(huán)，支撐環(huán)包括上支撐環(huán)、下支撐環(huán)和環(huán)面支撐環(huán)，環(huán)面支撐環(huán)位于上支撐環(huán)和下支撐環(huán)之間，以構(gòu)造出開口朝向保溫筒的隔熱腔，其中，下支撐環(huán)的外徑大于上支撐環(huán)的外徑，以使部分的下支撐環(huán)安裝在中保溫筒和下保溫筒之間。根據(jù)本實用新型的降氧裝置，結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，較好地提升了降氧裝置的穩(wěn)定性和單晶爐熱場的安全性，延長單晶爐熱場的使用壽命，較好地提升了單晶硅的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及單晶硅拉制技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種降氧裝置和具有其的單晶爐熱場。

背景技術(shù)

單晶硅拉制過程中，氧原子對單晶硅棒的少子壽命及后續(xù)組件發(fā)電量的衰減起到了決定因素。其主要來源是石英坩堝(SiO2)在高溫下析出，擴散進入硅液。坩堝溫度越高反應(yīng)越強，氧原子擴散進入硅溶液的數(shù)量越大，同時進入硅溶液的雜質(zhì)也同步增加。目前降氧方式主要是通過縮短側(cè)加熱器高度來降低坩堝高溫面積的方式，但這種方式產(chǎn)生的熱源仍會向坩堝底部進行輻射，無法有效保證設(shè)備的工作效率，此外縮短加熱器高度就需要增加相應(yīng)的加熱器的負荷，整體經(jīng)濟效益較差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種降氧裝置，所述降氧裝置結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，較好地提升了降氧裝置的穩(wěn)定性和單晶爐熱場的安全性，延長單晶爐熱場的使用壽命，較好地提升了單晶硅的質(zhì)量。

根據(jù)本實用新型實施例的降氧裝置，所述降氧裝置用于單晶爐熱場，所述單晶爐熱場包括爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的保溫筒和設(shè)置于所述保溫筒內(nèi)的坩堝、側(cè)加熱器、底加熱器和所述降氧裝置，所述側(cè)加熱器設(shè)置在所述坩堝的外圍，所述降氧裝置位于所述側(cè)加熱器的下端，所述底加熱器設(shè)置在所述坩堝的底部，其中，所述保溫筒自上而下依次包括上保溫筒、中保溫筒和下保溫筒，所述降氧裝置包括支撐環(huán)，所述支撐環(huán)包括上支撐環(huán)、下支撐環(huán)和環(huán)面支撐環(huán)，所述環(huán)面支撐環(huán)位于所述上支撐環(huán)和所述下支撐環(huán)之間，以構(gòu)造出開口朝向所述保溫筒的隔熱腔，其中，所述下支撐環(huán)的外徑大于所述上支撐環(huán)的外徑，以使部分的所述下支撐環(huán)安裝在所述中保溫筒和所述下保溫筒之間。

根據(jù)本實用新型實施例的降氧裝置，通過使得部分的下支撐環(huán)安裝在中保溫筒和下保溫筒之間，降氧裝置安裝于側(cè)加熱器的下端，結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，較好地提升了降氧裝置的穩(wěn)定性和單晶爐熱場的安全性，延長單晶爐熱場的使用壽命，較好地提升了單晶硅的質(zhì)量。

另外，根據(jù)本實用新型的降氧裝置，還可以具有如下附加的技術(shù)特征：

在本實用新型的一些實施例中，所述上支撐環(huán)的厚度小于所述下支撐環(huán)的厚度。在本實用新型的一些實施例中，所述下支撐環(huán)的上側(cè)面設(shè)置有第一臺階面，所述中保溫筒的下側(cè)面設(shè)置有與所述第一臺階面配合的第二臺階面，所述下支撐環(huán)的下側(cè)面設(shè)置有第三臺階面，所述下保溫筒的上側(cè)面設(shè)置有與所述第三臺階面配合的第四臺階面。

在本實用新型的一些實施例中，所述支撐環(huán)由碳碳材料或者石墨材料構(gòu)成。

在本實用新型的一些實施例中，所述降氧裝置還包括保溫環(huán)，所述保溫環(huán)設(shè)置于所述隔熱腔內(nèi)。

在本實用新型的一些實施例中，所述保溫環(huán)的外徑小于所述中保溫筒的內(nèi)徑，以使所述保溫環(huán)與所述中保溫筒間隔開。

在本實用新型的一些實施例中，所述保溫環(huán)設(shè)置有多個。

在本實用新型的一些實施例中，所述保溫環(huán)由固化氈構(gòu)成。

在本實用新型的一些實施例中，所述降氧裝置還包括緊固件，所述緊固件用于將所述保溫環(huán)固定在所述支撐環(huán)內(nèi)。

本實用新型還提出一種具有降氧裝置的單晶爐熱場。