[實(shí)用新型]降氧裝置和具有其的單晶爐熱場(chǎng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223449224.X
• 申請(qǐng)日: 2022-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218989462U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉磊;張華利;汪晨;武鵬;樓杭炯;周潔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/00;C30B29/06;C30B15/16
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

1.一種降氧裝置，用于單晶爐熱場(chǎng)，其特征在于，所述單晶爐熱場(chǎng)包括：爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的保溫筒和設(shè)置于所述保溫筒內(nèi)的坩堝、側(cè)加熱器、底加熱器和所述降氧裝置，所述側(cè)加熱器設(shè)置在所述坩堝的外圍，所述降氧裝置位于所述側(cè)加熱器的下端，所述底加熱器設(shè)置在所述坩堝的底部，其中，所述保溫筒自上而下依次包括上保溫筒、中保溫筒和下保溫筒，所述降氧裝置包括：

支撐環(huán)(10)，所述支撐環(huán)(10)包括上支撐環(huán)(1)、下支撐環(huán)(2)和環(huán)面支撐環(huán)(3)，所述環(huán)面支撐環(huán)(3)位于所述上支撐環(huán)(1)和所述下支撐環(huán)(2)之間，以構(gòu)造出開(kāi)口朝向所述保溫筒的隔熱腔，其中，所述下支撐環(huán)(2)的外徑大于所述上支撐環(huán)(1)的外徑，以使部分的所述下支撐環(huán)(2)安裝在所述中保溫筒和所述下保溫筒之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降氧裝置，其特征在于，所述上支撐環(huán)(1)的厚度小于所述下支撐環(huán)(2)的厚度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的降氧裝置，其特征在于，

所述下支撐環(huán)(2)的上側(cè)面設(shè)置有第一臺(tái)階面(4)，所述中保溫筒的下側(cè)面設(shè)置有與所述第一臺(tái)階面(4)配合的第二臺(tái)階面，和/或，

所述下支撐環(huán)(2)的下側(cè)面設(shè)置有第三臺(tái)階面(5)，所述下保溫筒的上側(cè)面設(shè)置有與所述第三臺(tái)階面(5)配合的第四臺(tái)階面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降氧裝置，其特征在于，所述支撐環(huán)(10)由碳碳材料或者石墨材料構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降氧裝置，其特征在于，所述降氧裝置還包括保溫環(huán)(7)，所述保溫環(huán)(7)設(shè)置于所述隔熱腔內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的降氧裝置，其特征在于，所述保溫環(huán)(7)的外徑小于所述中保溫筒的內(nèi)徑，以使所述保溫環(huán)(7)與所述中保溫筒間隔開(kāi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的降氧裝置，其特征在于，所述保溫環(huán)(7)設(shè)置有多個(gè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的降氧裝置，其特征在于，所述保溫環(huán)(7)由固化氈構(gòu)成。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的降氧裝置，其特征在于，所述降氧裝置還包括緊固件，所述緊固件用于將所述保溫環(huán)(7)固定在所述支撐環(huán)(10)內(nèi)。

10.一種單晶爐熱場(chǎng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的降氧裝置。