[實用新型]一種晶圓水平式去膠機的固定機構

有效

• 申請號: 202223439087.1
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號: CN219350195U
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 倪裕林;徐新志;尹旺;尹康
• 申請（專利權）人: 昆山蘊鼎自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;G03F7/42;G03F7/40
• 代理公司: 滄州市宏科專利代理事務所(普通合伙) 13134
• 代理人: 韓超

本實用新型屬于去膠機技術領域，具體的說是一種晶圓水平式去膠機的固定機構，包括底座；所述底座的頂部固定連接有工作臺；所述工作臺頂部的兩側均固定連接有擋板；兩個所述擋板相對的一側且位于工作臺的頂部開設有工作腔；所述工作腔的內部設有固定組件；所述固定組件包括放置臺；所述放置臺的底部固定連接有支撐柱；所述支撐柱的底端與工作臺的頂部固定連接；所述放置臺頂部的兩側均固定連接有安裝柱；通過上卡環、下卡環與擠壓圓塊的結構設計，實現了固定的功能，解決了需要往復將固定后的物品放入去膠機，操作步驟繁瑣，費時費力，相應的去膠效率還有待提升的問題，方便調整去膠位置，提高了在去膠時固定的效率。

技術領域

本實用新型涉及去膠機技術領域，具體是一種晶圓水平式去膠機的固定機構。

背景技術

去膠機是一種用于物理學、電子與通信技術領域的計量儀器，主要原理是利用微波等離子將氧氣或者其他反應氣體進行電離，形成化學活性的自由基，然后與光刻膠反應，生成可揮發的物質，被真空泵抽離腔體，從而實現光刻膠刻蝕和去除的功能。

目前晶圓水平式去膠機在進行去膠時，對于需要去膠的物品進行固定，現有的固定方式，大多是操作人員通過虎口鉗將去膠物品進行夾緊固定，隨后在將虎口鉗一起放入晶圓水平式去膠機，待到完成去膠之后，再將虎口鉗取出，調整好位置之后再次夾緊之后再次去膠，直到完全去膠完畢之后再更換去膠物品重復以上操作。

然而對于現有的晶圓水平式去膠機在固定的時候，由于需要多次調整去膠位置，且需要往復將固定后的物品放入去膠機，操作步驟繁瑣，費時費力，相應的去膠效率還有待提升；因此，針對上述問題提出一種晶圓水平式去膠機的固定機構。

實用新型內容

為了彌補現有技術的不足，需要多次調整去膠位置，且需要往復將固定后的物品放入去膠機，操作步驟繁瑣，費時費力，相應的去膠效率還有待提升的問題，本實用新型提出一種晶圓水平式去膠機的固定機構。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：本實用新型所述的一種晶圓水平式去膠機的固定機構，包括底座；所述底座的頂部固定連接有工作臺；所述工作臺頂部的兩側均固定連接有擋板；兩個所述擋板相對的一側且位于工作臺的頂部開設有工作腔；所述工作腔的內部設有固定組件；

所述固定組件包括放置臺；所述放置臺的底部固定連接有支撐柱；所述支撐柱的底端與工作臺的頂部固定連接；所述放置臺頂部的兩側均固定連接有安裝柱；所述安裝柱的頂部固定連接有下卡環；所述下卡環的頂部設有上卡環；所述上卡環的表面螺紋連接有螺栓；所述螺栓的一端貫穿上卡環與下卡環并延伸至下卡環的底部；所述螺栓位于下卡環底部的一端螺紋連接有螺帽。

優選的，所述上卡環的一側設有擠壓圓塊；所述擠壓圓塊的一側固定連接有螺紋桿。

優選的，所述螺紋桿遠離擠壓圓塊的一端貫穿擋板并延伸至擋板的一側；所述螺紋桿位于擋板一側的一端固定連接有花形把手。

優選的，所述底座的頂部且位于工作臺的一側固定連接有轉動架；所述轉動架的表面轉動連接有轉動軸。

優選的，所述轉動軸的表面轉動連接有轉動臺；所述轉動臺的一側固定連接有支撐把手。

優選的，所述轉動臺底部的一側固定連接有去膠裝置；所述去膠裝置的表面設有控制面板。

優選的，所述控制面板的表面設有控制按鈕；所述擋板的頂部固定連接有與轉動臺適配的支撐板。

優選的，所述螺紋桿的數量設為兩個；所述上卡環與下卡環的數量均設為兩個；所述螺紋桿與上卡環、下卡環均于放置臺兩側對稱布置。

本實用新型的有益之處在于：

1.本實用新型通過上卡環、下卡環與擠壓圓塊的結構設計，實現了固定的功能，解決了需要往復將固定后的物品放入去膠機，操作步驟繁瑣，費時費力，相應的去膠效率還有待提升的問題，方便調整去膠位置，提高了在去膠時固定的效率；