[實(shí)用新型]一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223439087.1
• 申請日: 2022-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN219350195U
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪裕林;徐新志;尹旺;尹康
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山蘊(yùn)鼎自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;G03F7/42;G03F7/40
• 代理公司: 滄州市宏科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 13134
• 代理人: 韓超

1.一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括底座(1)；所述底座(1)的頂部固定連接有工作臺(tái)(2)；所述工作臺(tái)(2)頂部的兩側(cè)均固定連接有擋板(3)；兩個(gè)所述擋板(3)相對的一側(cè)且位于工作臺(tái)(2)的頂部開設(shè)有工作腔(4)；所述工作腔(4)的內(nèi)部設(shè)有固定組件；

所述固定組件包括放置臺(tái)(5)；所述放置臺(tái)(5)的底部固定連接有支撐柱(6)；所述支撐柱(6)的底端與工作臺(tái)(2)的頂部固定連接；所述放置臺(tái)(5)頂部的兩側(cè)均固定連接有安裝柱(7)；所述安裝柱(7)的頂部固定連接有下卡環(huán)(8)；所述下卡環(huán)(8)的頂部設(shè)有上卡環(huán)(9)；所述上卡環(huán)(9)的表面螺紋連接有螺栓(10)；所述螺栓(10)的一端貫穿上卡環(huán)(9)與下卡環(huán)(8)并延伸至下卡環(huán)(8)的底部；所述螺栓(10)位于下卡環(huán)(8)底部的一端螺紋連接有螺帽(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述上卡環(huán)(9)的一側(cè)設(shè)有擠壓圓塊(12)；所述擠壓圓塊(12)的一側(cè)固定連接有螺紋桿(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述螺紋桿(13)遠(yuǎn)離擠壓圓塊(12)的一端貫穿擋板(3)并延伸至擋板(3)的一側(cè)；所述螺紋桿(13)位于擋板(3)一側(cè)的一端固定連接有花形把手(14)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述底座(1)的頂部且位于工作臺(tái)(2)的一側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)架(15)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)架(15)的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸(16)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(16)的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(17)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(17)的一側(cè)固定連接有支撐把手(18)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(17)底部的一側(cè)固定連接有去膠裝置(19)；所述去膠裝置(19)的表面設(shè)有控制面板(20)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述控制面板(20)的表面設(shè)有控制按鈕；所述擋板(3)的頂部固定連接有與轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)(17)適配的支撐板(21)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓水平式去膠機(jī)的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述螺紋桿(13)的數(shù)量設(shè)為兩個(gè)；所述上卡環(huán)(9)與下卡環(huán)(8)的數(shù)量均設(shè)為兩個(gè)；所述螺紋桿(13)與上卡環(huán)(9)、下卡環(huán)(8)均于放置臺(tái)(5)兩側(cè)對稱布置。