[實用新型]一種MEMS傳感器封裝結構

有效

• 申請號: 202223434947.2
• 申請日: 2022-12-21
• 公開（公告）號: CN218860328U
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 李鵬;尹小煥;李琴
• 申請（專利權）人: 蚌埠瑞眾傳感系統工程有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00;G01D11/18;G01D11/24
• 代理公司: 安徽致至知識產權代理事務所(普通合伙) 34221
• 代理人: 許朋波

本實用新型涉及封裝結構技術領域，尤其涉及一種MEMS傳感器封裝結構，解決了現有技術中進行MEMS傳感器的封裝時，需要安裝絕緣外殼，一般通過熱熔膠的方式進行安裝，由于這種方式需要適用熱熔膠進行固定，在進行絕緣外殼的安裝與拆卸時都較為不便的問題。一種MEMS傳感器封裝結構，包括MEMS傳感器芯片與設置在MEMS傳感器芯片上的絕緣外殼組合成的MEMS傳感器，所述MEMS傳感器芯片的側壁上設有四個安裝槽，所述安裝槽內設有用于實現MEMS傳感器芯片與絕緣外殼之間固定的卡合部件與彈性部件。本實用新型能夠進行絕緣外殼與MEMS傳感器芯片的快速安裝與拆卸，維修更加方便。

技術領域

本實用新型涉及封裝結構技術領域，尤其涉及一種MEMS傳感器封裝結構。

背景技術

MEMS傳感器即微機電系統，涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景，常見的形式就是帶有集成電路的芯片，在進行MEMS傳感器的生產時，為了避免芯片等直接裸露在外，需要進行MEMS傳感器的封裝。

封裝是一種將集成電路用絕緣的塑料或陶瓷材料打包的技術，在進行MEMS傳感器封裝時，需要使用到絕緣外殼進行電路的封閉，僅留下連接線路的接口，在進行絕緣外殼的安裝時，一般通過熱熔膠的方式進行安裝，這種方式雖然安裝穩定，但是在進行MEMS傳感器的維修時，需要用熱風機一點點的吹連接處，使得膠松動，然后才能拆卸絕緣外殼，十分不便，且在安裝時，還需要將原來的膠全部刮除，才能重新打膠，安裝也不便。所以需要一種MEMS傳感器封裝結構來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種MEMS傳感器封裝結構，解決了現有技術中進行MEMS傳感器的封裝時，需要安裝絕緣外殼，一般通過熱熔膠的方式進行安裝，由于這種方式需要適用熱熔膠進行固定，在進行絕緣外殼的安裝與拆卸時都較為不便的問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種MEMS傳感器封裝結構，包括MEMS傳感器芯片與設置在MEMS傳感器芯片上的絕緣外殼組合成的MEMS傳感器，所述MEMS傳感器芯片的側壁上設有四個安裝槽，所述安裝槽內設有用于實現MEMS傳感器芯片與絕緣外殼之間固定的卡合部件與彈性部件。

優選的，所述卡合部件包括設置在絕緣外殼側壁上的卡槽，所述安裝槽內固定連接有與卡槽相配合的卡塊，卡合部件的設置，能夠進行絕緣外殼與MEMS傳感器芯片之間的左右限位。

優選的，所述彈性部件包括設置在卡塊壁內的空腔，所述空腔內壁滑動連接有擋板，所述擋板通過第一彈簧與空腔內壁彈性連接，所述卡塊的側壁上設有導向口，所述擋板上固定連接有貫穿導向口的限位塊，彈性部件的設置，能夠進行絕緣外殼的上下限位，進而實現絕緣外殼與MEMS傳感器芯片的固定。

優選的，所述限位塊的上端設有缺口，上端所述缺口與絕緣外殼相配合。

優選的，所述絕緣外殼上設有同時推動四個限位塊的旋轉部件與收納部件。

優選的，所述旋轉部件包括設置在絕緣外殼側壁上的容納槽，所述絕緣外殼的側壁上固定連接固定塊，所述固定塊上轉動連接有與限位塊相配合的旋轉板，旋轉部件的設置，能夠進行旋轉板的旋轉，以便推動限位塊的運動。

優選的，所述收納部件包括設置在旋轉板上的支撐槽，所述支撐槽內滑動連接有延長板，所述延長板通過第二彈簧與支撐槽內壁彈性連接，所述旋轉板上轉動連接有限位延長板的止位塊，收納部件的設置，能夠進行旋轉板的延長。

本實用新型至少具備以下有益效果：

1、通過設置卡合部件與彈性部件，能夠進行絕緣外殼與MEMS傳感器芯片的快速安裝，只需將卡槽與卡塊配合，然后下壓絕緣外殼即可進行絕緣外殼與MEMS傳感器芯片的固定，安裝方便。