[實用新型]一種MEMS傳感器封裝結構

有效

• 申請號: 202223434947.2
• 申請日: 2022-12-21
• 公開（公告）號: CN218860328U
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 李鵬;尹小煥;李琴
• 申請（專利權）人: 蚌埠瑞眾傳感系統工程有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00;G01D11/18;G01D11/24
• 代理公司: 安徽致至知識產權代理事務所(普通合伙) 34221
• 代理人: 許朋波

1.一種MEMS傳感器封裝結構，包括MEMS傳感器芯片(1)與設置在MEMS傳感器芯片(1)上的絕緣外殼(2)組合成的MEMS傳感器，其特征在于，所述MEMS傳感器芯片(1)的側壁上設有四個安裝槽(3)，所述安裝槽(3)內設有用于實現MEMS傳感器芯片(1)與絕緣外殼(2)之間固定的卡合部件與彈性部件。

2.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器封裝結構，其特征在于，所述卡合部件包括設置在絕緣外殼(2)側壁上的卡槽(4)，所述安裝槽(3)內固定連接有與卡槽(4)相配合的卡塊(5)。

3.根據權利要求2所述的一種MEMS傳感器封裝結構，其特征在于，所述彈性部件包括設置在卡塊(5)壁內的空腔(6)，所述空腔(6)內壁滑動連接有擋板，所述擋板通過第一彈簧(7)與空腔(6)內壁彈性連接，所述卡塊(5)的側壁上設有導向口，所述擋板上固定連接有貫穿導向口的限位塊(8)。

4.根據權利要求3所述的一種MEMS傳感器封裝結構，其特征在于，所述限位塊(8)的上端設有缺口(9)，上端所述缺口(9)與絕緣外殼(2)相配合。

5.根據權利要求3所述的一種MEMS傳感器封裝結構，其特征在于，所述絕緣外殼(2)上設有同時推動四個限位塊(8)的旋轉部件與收納部件。

6.根據權利要求5所述的一種MEMS傳感器封裝結構，其特征在于，所述旋轉部件包括設置在絕緣外殼(2)側壁上的容納槽(10)，所述絕緣外殼(2)的側壁上固定連接固定塊(11)，所述固定塊(11)上轉動連接有與限位塊(8)相配合的旋轉板(12)。

7.根據權利要求6所述的一種MEMS傳感器封裝結構，其特征在于，所述收納部件包括設置在旋轉板(12)上的支撐槽(13)，所述支撐槽(13)內滑動連接有延長板(14)，所述延長板(14)通過第二彈簧(15)與支撐槽(13)內壁彈性連接，所述旋轉板(12)上轉動連接有限位延長板(14)的止位塊(16)。