[實用新型]樣品承載結(jié)構(gòu)及真空系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223395880.6
• 申請日: 2022-12-16
• 公開（公告）號: CN219079635U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳飛;謝斌平;王天鄰
• 申請（專利權(quán)）人: 費勉儀器科技（南京）有限公司;費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 上海國瓴律師事務(wù)所 31363
• 代理人: 傅耀

本公開提供了一種樣品承載結(jié)構(gòu)及真空系統(tǒng)。該樣品承載結(jié)構(gòu)包括：托盤，設(shè)置有多個工位，所述工位用于容納框架，所述框架用于收納多片樣品；固定件，用于將框架固定在所述工位上，所述固定件包括：基座；彈片，固定設(shè)置于所述基座上，用于在固定件固定所述框架時，與所述框架相抵靠。真空系統(tǒng)包括：真空腔；以及本公開提供的樣品承載結(jié)構(gòu)，設(shè)置在所述真空腔內(nèi)。本公開提高了產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種樣品承載結(jié)構(gòu)及真空系統(tǒng)。

背景技術(shù)

真空鍍膜設(shè)備是真空系統(tǒng)的一種，主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外等多種。在進(jìn)行真空鍍膜的過程中，通常會向真空腔中傳送樣品(例如晶圓、玻璃、巴條等)，鍍膜形成于所述樣品中。

當(dāng)前的真空鍍膜設(shè)備中，每一次鍍膜所放置的樣品片數(shù)有限，從而影響了產(chǎn)能，不符合技術(shù)發(fā)展對工藝效率的要求。

實用新型內(nèi)容

本公開提供了一種樣品承載結(jié)構(gòu)，包括：托盤，設(shè)置有多個工位，所述工位用于容納框架，所述框架(可以包括夾具、樣品架、樣品盒等等)用于收納多片樣品；固定件，用于將框架固定在所述工位上，所述固定件包括：基座；彈片，固定設(shè)置于所述基座上，用于在固定件固定所述框架時，與所述框架相抵靠。

一些實施例中，所述托盤是可旋轉(zhuǎn)托盤，包括中心區(qū)域和外圍區(qū)域，所述多個工位間隔排布在所述外圍區(qū)域；所述中心區(qū)域用于放置陪片。

一些實施例中，所述框架的側(cè)壁設(shè)置有滑槽；所述工位包括開設(shè)在所述托盤上的開口，所述開口的側(cè)壁設(shè)置有與所述滑槽結(jié)構(gòu)相匹配的導(dǎo)軌。

一些實施例中，所述框架的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有固定卡槽；所述開口的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有與所述固定卡槽相匹配的卡合凸起。

一些實施例中，所述彈片設(shè)置在所述基座的內(nèi)側(cè)面上，并沿所述基座的縱向延伸，所述基座在沿縱向的第一端和第二端分別設(shè)置有第一固定件和第二固定件。

一些實施例中，所述基座包括設(shè)置在在所述第一端處所述第一固定件外側(cè)的第一定位槽以及設(shè)置在所述第二端處所述第二固定件外側(cè)的第二定位槽；所述托盤還開設(shè)有與開口相連的容納槽，用于放置所述基座，所述容納槽的第一側(cè)壁上設(shè)置有與所述第一定位槽相對應(yīng)的第一定位凸起，所述容納槽與第一側(cè)壁相對的第二側(cè)壁上設(shè)置有與所述第二定位槽相對應(yīng)的第二定位凸起。

一些實施例中，所述基座包括設(shè)置在第一表面和/或第二表面上定位卡槽。

一些實施例中，所述托盤具有圓形結(jié)構(gòu)，所述多個工位沿圓周方向均勻排布。

一些實施例中，所述托盤上開設(shè)有旋轉(zhuǎn)支架卡槽。

本公開還提供了一種真空系統(tǒng)，包括：真空腔；以及本公開提供的樣品承載結(jié)構(gòu)，設(shè)置在所述真空腔內(nèi)。

一些實施例中，還包括:旋轉(zhuǎn)支架，與所述托盤相連，用于帶動所述托盤旋轉(zhuǎn)。

一些實施例中，其特征在于，所述樣品承載結(jié)構(gòu)設(shè)置有陪片，所述真空系統(tǒng)還包括:在線監(jiān)測裝置，用于對所述陪片進(jìn)行監(jiān)測。

根據(jù)本公開一些實施例的樣品承載結(jié)構(gòu)及真空系統(tǒng)能夠帶來有益的技術(shù)效果。例如，本公開一些實施例的托盤，設(shè)置有多個工位，通過固定件的彈片與所述框架相抵靠，可以將框架固定在工位上，框架能夠容納多片樣品，這樣在真空系統(tǒng)進(jìn)行鍍膜或其他工藝時，使鍍膜均形成在各工位的樣品上，從而實現(xiàn)同時對多個框架中的多片樣品執(zhí)行同一工藝步驟，進(jìn)而提高了工藝效率，增大了產(chǎn)能。

根據(jù)本公開一些實施例的樣品承載結(jié)構(gòu)及真空系統(tǒng)能夠帶來有益的技術(shù)效果?？梢酝ㄟ^使可旋轉(zhuǎn)托盤進(jìn)行旋轉(zhuǎn)(例如自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)或它驅(qū)動旋轉(zhuǎn))，從而提高各工位框架中樣品的工藝均勻性。