[實用新型]樣品承載結構及真空系統

有效

• 申請號: 202223395880.6
• 申請日: 2022-12-16
• 公開（公告）號: CN219079635U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 陳飛;謝斌平;王天鄰
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技（南京）有限公司;費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 上海國瓴律師事務所 31363
• 代理人: 傅耀

1.一種樣品承載結構，其特征在于，包括：

托盤，設置有多個工位，所述工位用于容納框架，所述框架用于收納多片樣品；

固定件，用于將框架固定在所述工位上，所述固定件包括：

基座；

彈片，固定設置于所述基座上，用于在固定件固定所述框架時，與所述框架相抵靠。

2.如權利要求1所述的樣品承載結構，其特征在于，所述托盤是可旋轉托盤，包括中心區域和外圍區域，所述多個工位間隔排布在所述外圍區域；所述中心區域用于放置陪片。

3.如權利要求1所述的樣品承載結構，其特征在于，所述框架的側壁設置有滑槽；

所述工位包括開設在所述托盤上的開口，所述開口的側壁設置有與所述滑槽結構相匹配的導軌。

4.如權利要求3所述的樣品承載結構，其特征在于，所述框架的內側壁設置有固定卡槽；

所述開口的內側壁設置有與所述固定卡槽相匹配的卡合凸起。

5.如權利要求4所述的樣品承載結構，其特征在于，所述彈片設置在所述基座的內側面上，并沿所述基座的縱向延伸，所述基座在沿縱向的第一端和第二端分別設置有第一固定件和第二固定件。

6.如權利要求5所述的樣品承載結構，其特征在于，所述基座包括設置在所述第一端處所述第一固定件外側的第一定位槽以及設置在所述第二端處所述第二固定件外側的第二定位槽；

所述托盤還開設有與開口相連的容納槽，用于放置所述基座，所述容納槽的第一側壁上設置有與所述第一定位槽相對應的第一定位凸起，所述容納槽與第一側壁相對的第二側壁上設置有與所述第二定位槽相對應的第二定位凸起。

7.如權利要求1-6中任一項所述的樣品承載結構，其特征在于，

所述基座包括設置在第一表面和/或第二表面上定位卡槽；和/或

所述托盤具有圓形結構，所述多個工位沿圓周方向均勻排布；和/或

所述托盤上開設有旋轉支架卡槽。

8.一種真空系統，其特征在于，包括：

真空腔；以及

如權利要求1-7中任一項所述的樣品承載結構，設置在所述真空腔內。

9.如權利要求8所述的真空系統，其特征在于，還包括:旋轉支架，與所述托盤相連，用于帶動所述托盤旋轉。

10.如權利要求8所述的真空系統，其特征在于，所述樣品承載結構設置有陪片，所述真空系統還包括:

在線監測裝置，用于對所述陪片進行監測。