[實用新型]一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223378548.9
• 申請日: 2022-12-15
• 公開（公告）號: CN219137002U
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 華偉;陳偉;潘國慶;董永軍
• 申請（專利權(quán)）人: 南京光寶晶體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20
• 代理公司: 南京禾易知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32320
• 代理人: 覃倩茜

本實用新型公開了一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐，涉及生產(chǎn)爐技術(shù)領(lǐng)域，包括爐體以及保溫內(nèi)層，籽晶提拉線，支撐軸，加熱裝置，熱電偶，連接機(jī)構(gòu)，本實用新型解決了在進(jìn)行對熱電偶安裝與拆卸前，均需要對法蘭進(jìn)行安裝與拆卸步驟較為繁瑣，降低了對熱電偶安裝效率的問題，本實用通過設(shè)置連接機(jī)構(gòu)在熱電偶出現(xiàn)損耗需要進(jìn)行更換時，通過推動熱電偶帶動連接桿進(jìn)入限位槽的內(nèi)部，通過彈簧的復(fù)位作用完成對熱電偶的安裝操作，在對熱電偶進(jìn)行拆卸時，通過向上推動熱電偶帶動連接桿與限位槽分離解除對連接桿的限位操作，然后通過反向操作上述步驟即可完成對熱電偶的拆卸操作，即可簡化熱電偶與爐體之間的拆裝步驟，顯著提升了熱電偶的安裝效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及生產(chǎn)爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐。

背景技術(shù)

晶體生長爐是單晶制品的生產(chǎn)設(shè)備，由于各晶體生長溫度可從1000℃到2000多℃，所以晶體生長爐爐腔精準(zhǔn)的溫度控制至關(guān)重要，內(nèi)保持一定的高溫，因此需要對爐內(nèi)的溫度進(jìn)行檢測監(jiān)控，目前的晶體生產(chǎn)爐通常是通過安裝熱電偶來對爐腔內(nèi)進(jìn)行溫度監(jiān)控的，熱電偶本身是易耗品，在對生產(chǎn)爐的長期使用中需要進(jìn)行更換。

目前現(xiàn)有具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐內(nèi)安裝的熱電偶是通過安裝法蘭來進(jìn)行固定安裝與連接操作，在進(jìn)行對熱電偶安裝與拆卸前，均需要對法蘭進(jìn)行安裝與拆卸步驟較為繁瑣，降低了對熱電偶的安裝效率。

針對上述問題，為此，提出一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐，解決了背景技術(shù)中在進(jìn)行對熱電偶安裝與拆卸前，均需要對法蘭進(jìn)行安裝與拆卸步驟較為繁瑣，降低了對熱電偶安裝效率的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐，包括爐體以及設(shè)置在所述爐體內(nèi)部的保溫內(nèi)層，所述爐體的頂部設(shè)置有延伸至所述爐體內(nèi)部的籽晶提拉線，所述爐體的底部設(shè)置有延伸至所述爐體內(nèi)部的支撐軸，所述保溫內(nèi)層的內(nèi)部底端設(shè)置有加熱裝置，所述爐體的底部設(shè)置有延伸至所述保溫內(nèi)層內(nèi)部的熱電偶，所述爐體的底部設(shè)置有連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)包括有固定連接在所述爐體底部的安裝塊，所述熱電偶的外壁固定連接有連接桿，所述安裝塊的內(nèi)部設(shè)置有延伸至所述安裝塊外壁的限位槽，所述安裝塊的內(nèi)部設(shè)置有延伸至所述安裝塊底部的條形滑槽。

優(yōu)選的，所述連接機(jī)構(gòu)還包括有固定連接在所述熱電偶外壁，并位于所述連接桿頂部的頂環(huán)，所述爐體的底部固定連接有套接有彈簧，所述彈簧位于所述頂環(huán)的頂部。

優(yōu)選的，所述條形滑槽底部的內(nèi)壁兩側(cè)設(shè)置有弧形結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述條形滑槽的間距與所述連接桿的外徑相匹配。

優(yōu)選的，所述限位槽的內(nèi)徑與所述連接桿的外徑相匹配。

優(yōu)選的，所述安裝塊的內(nèi)部還設(shè)置有內(nèi)部間距與所述連接桿外徑相匹配的連接滑槽，所述連接桿與限位槽通過連接滑槽相互貫通。

優(yōu)選的，所述安裝塊的內(nèi)部設(shè)置有與所述頂環(huán)外徑相匹配的移動滑槽，所述頂環(huán)通過所述移動滑槽與所述安裝塊滑動連接。

優(yōu)選的，所述爐體和保溫內(nèi)層的內(nèi)部均設(shè)置有與所述熱電偶檢測端外徑相匹配的貫穿孔，所述熱電偶的檢測端通過所述貫穿孔延伸至所述加熱裝置的內(nèi)部。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果如下：

本實用新型提供的一種具有測溫功能的晶體生產(chǎn)爐，通過設(shè)置連接機(jī)構(gòu)在熱電偶出現(xiàn)損耗需要進(jìn)行更換時，通過推動熱電偶帶動連接桿進(jìn)入限位槽的內(nèi)部與限位槽的內(nèi)部頂面相貼合，然后解除對熱電偶的作用力，熱電偶在彈簧的復(fù)位作用下進(jìn)入限位槽的內(nèi)部底面實現(xiàn)對熱電偶的安裝操作，在對熱電偶進(jìn)行拆卸時，通過向上推動熱電偶帶動連接桿與限位槽分離解除對連接桿的限位操作，然后通過反向操作上述步驟即可完成對熱電偶的拆卸操作，即可簡化熱電偶與爐體之間的拆裝步驟，顯著提升了熱電偶的安裝效率。