[實用新型]一種具有測溫功能的晶體生產爐有效
| 申請號: | 202223378548.9 | 申請日: | 2022-12-15 |
| 公開(公告)號: | CN219137002U | 公開(公告)日: | 2023-06-06 |
| 發明(設計)人: | 華偉;陳偉;潘國慶;董永軍 | 申請(專利權)人: | 南京光寶晶體科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/20 | 分類號: | C30B15/20 |
| 代理公司: | 南京禾易知識產權代理有限公司 32320 | 代理人: | 覃倩茜 |
| 地址: | 211299 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 具有 測溫 功能 晶體 生產 | ||
1.一種具有測溫功能的晶體生產爐,包括爐體(1)以及設置在所述爐體(1)內部的保溫內層(4),所述爐體(1)的頂部設置有延伸至所述爐體(1)內部的籽晶提拉線(2),所述爐體(1)的底部設置有延伸至所述爐體(1)內部的支撐軸(3),所述保溫內層(4)的內部底端設置有加熱裝置(5),所述爐體(1)的底部設置有延伸至所述保溫內層(4)內部的熱電偶(7),其特征在于:所述爐體(1)的底部設置有連接機構(6),所述連接機構(6)包括有固定連接在所述爐體(1)底部的安裝塊(601),所述熱電偶(7)的外壁固定連接有連接桿(602),所述安裝塊(601)的內部設置有延伸至所述安裝塊(601)外壁的限位槽(604),所述安裝塊(601)的內部設置有延伸至所述安裝塊(601)底部的條形滑槽(606),通過設置所述連接機構(6)來完成所述熱電偶(7)與所述爐體(1)之間的快速安裝與拆卸操作。
2.根據權利要求1所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述連接機構(6)還包括有固定連接在所述熱電偶(7)外壁,并位于所述連接桿(602)頂部的頂環(603),所述爐體(1)的底部固定連接有套接有彈簧(605),所述彈簧(605)位于所述頂環(603)的頂部,通過所述彈簧(605)的復位作用即可驅動所述連接桿(602)進行移動。
3.根據權利要求1所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述條形滑槽(606)底部的內壁兩側設置有便于所述連接桿(602)進入所述條形滑槽(606)內部的弧形結構。
4.根據權利要求1所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述條形滑槽(606)的間距可供所述連接桿(602)進行移動。
5.根據權利要求1所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述限位槽(604)的內徑可供所述連接桿(602)進行移動。
6.根據權利要求1所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述安裝塊(601)的內部還設置有供所述連接桿(602)進行移動的連接滑槽。
7.根據權利要求2所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述安裝塊(601)的內部設置有供所述頂環(603)進行移動的移動滑槽。
8.根據權利要求1所述的一種具有測溫功能的晶體生產爐,其特征在于:所述爐體(1)和保溫內層(4)的內部均設置有供所述熱電偶(7)檢測端進行移動的貫穿孔。
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