[實用新型]一種真空腔室組件

有效

• 申請號: 202223357561.6
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN218762365U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 付卓;高斌
• 申請（專利權）人: 中科酷原科技（武漢）有限公司
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;B25B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請提供一種真空腔室組件，真空腔室組件包括底座、第一調節座和第一調節件；第一調節座可擺動地連接于底座，第一調節件設置于第一調節座的一側，第一調節件可移動地連接于底座，并帶動第一調節座沿圓弧方向擺動，真空腔室安裝于第一調節座，并沿著第一調節座的擺動而進行角度調整，以使真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面相平行，此時，第一調節座支撐真空腔室，真空腔室在第一調節座和第一調節件的帶動下進行角度調整，便于真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面相平行，真空腔室相對于地底座可直接進行角度調整，避免了真空腔室為了進行角度調整而相對于底座拆卸和重新安裝，提高了真空腔室的調整效率。

技術領域

本申請屬于真空腔室組件的技術領域，尤其涉及一種真空腔室組件。

背景技術

隨著科技的發展，在中性原子量子計算中，通常需要用真空腔室來提供高真空環境，聚焦透鏡的端面發射光斑，光斑經過真空腔室的側壁聚焦，并形成光鑷，故真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面需要保持平行。

為了保證真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面保持平行，現有的真空腔室在安裝于底座前進行真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面的平行調整，在真空腔室安裝底座后，真空腔室固定于底座，并且不進行調整，可是，真空腔室在長期工作中會偏移，真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面不平行，真空腔室為了進行角度調整而相對于底座拆卸和重新安裝，導致現有的真空腔室的調整效率較低。

實用新型內容

本申請實施例提供一種真空腔室組件，以解決現有的真空腔室的調整效率較低的技術問題。

第一方面，本申請實施例提供一種真空腔室組件，包括：

底座；

第一調節座，可擺動地連接于所述底座；

第一調節件，設置于所述第一調節座的一側，所述第一調節件可移動地連接于所述底座，并帶動所述第一調節座沿圓弧方向擺動；

真空腔室，安裝于所述第一調節座，并沿著所述第一調節座的擺動而進行角度調整，以使真空腔室的側壁與聚焦透鏡的端面相平行。

可選的，所述底座設有支撐部，所述支撐部設有圓弧孔；所述第一調節座朝向所述支撐部的一側壁凸設有擺動部，所述擺動部可擺動地插接于所述圓弧孔，并沿著所述圓弧孔的圓弧方向擺動。

可選的，所述擺動部處于所述圓弧孔內，所述擺動部為圓弧凸臺，并沿著所述圓弧孔的延伸方向延伸。

可選的，所述支撐部的一側設有緊固件，所述緊固件連接于所述擺動部，并夾緊所述擺動部和所述支撐部。

可選的，所述底座設有第一螺紋孔，所述第一螺紋孔相對于所述第一調節座，所述第一調節件螺接于所述第一螺紋孔，并抵接所述第一調節座。

可選的，所述真空腔室包括玻璃真空腔和安裝部，所述玻璃真空腔通過管道連接于所述安裝部，所述安裝部安裝所述第一調節座，并隨著所述第一調節座的擺動而擺動，使得所述玻璃真空腔相對于所述聚焦透鏡進行角度調節。

可選的，所述真空腔室組件還包括復合泵，所述復合泵設置于所述真空腔室的一側，所述復合泵的輸出端連接于所述管道，并經過所述管道連通所述真空腔室，所述復合泵用于對所述真空腔室進行真空處理。

可選的，所述底座設有底座部，所述底座部處于所述支撐部的下側，所述支撐部可移動地連接于所述底座部，所述第一調節座隨著所述支撐部的移動而移動。

可選的，所述底座部設有凹槽，所述支撐部朝向所述底座部的一側壁凸設有移動臺，所述移動臺可移動地安裝于所述凹槽。

可選的，所述真空腔室組件還包括第二調節件，所述第二調節件可可移動地安裝于所述底座部，并抵接所述支撐部。