[實用新型]一種真空腔室組件

有效

• 申請號: 202223357561.6
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN218762365U
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 付卓;高斌
• 申請（專利權）人: 中科酷原科技（武漢）有限公司
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;B25B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空腔室組件，其特征在于，包括：

底座(110)；

第一調節座(120)，可擺動地連接于所述底座(110)；

第一調節件(130)，設置于所述第一調節座(120)的一側，所述第一調節件(130)可移動地連接于所述底座(110)，并帶動所述第一調節座(120)沿圓弧方向擺動；

真空腔室(150)，安裝于所述第一調節座(120)，并沿著所述第一調節座(120)的擺動而進行角度調整，以使真空腔室(150)的側壁與聚焦透鏡的端面相平行。

2.根據權利要求1所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述底座(110)設有支撐部(111)，所述支撐部(111)設有圓弧孔(111a)；所述第一調節座(120)朝向所述支撐部(111)的一側壁凸設有擺動部(121)，所述擺動部(121)可擺動地插接于所述圓弧孔(111a)，并沿著所述圓弧孔(111a)的圓弧方向擺動。

3.根據權利要求2所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述擺動部(121)處于所述圓弧孔(111a)內，所述擺動部(121)為圓弧凸臺，并沿著所述圓弧孔(111a)的延伸方向延伸。

4.根據權利要求3所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述支撐部(111)的一側設有緊固件(1111)，所述緊固件(1111)連接于所述擺動部(121)，并夾緊所述擺動部(121)和所述支撐部(111)。

5.根據權利要求1所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述底座(110)設有第一螺紋孔(110a)，所述第一螺紋孔(110a)相對于所述第一調節座(120)，所述第一調節件(130)螺接于所述第一螺紋孔(110a)，并抵接所述第一調節座(120)。

6.根據權利要求1至5中任一所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述真空腔室(150)包括玻璃真空腔(151)和安裝部(152)，所述玻璃真空腔(151)通過管道連接于所述安裝部(152)，所述安裝部(152)安裝所述第一調節座(120)，并隨著所述第一調節座(120)的擺動而擺動，使得所述玻璃真空腔(151)相對于所述聚焦透鏡進行角度調節。

7.根據權利要求6所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述真空腔室組件還包括復合泵(160)，所述復合泵(160)設置于所述真空腔室(150)的一側，所述復合泵(160)的輸出端連接于所述管道，并經過所述管道連通所述真空腔室(150)，所述復合泵(160)用于對所述真空腔室(150)進行真空處理。

8.根據權利要求2所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述底座(110)設有底座部(112)，所述底座部(112)處于所述支撐部(111)的下側，所述支撐部(111)可移動地連接于所述底座部(112)，所述第一調節座(120)隨著所述支撐部(111)的移動而移動。

9.根據權利要求8所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述底座部(112)設有凹槽(112a)，所述支撐部(111)朝向所述底座部(112)的一側壁凸設有移動臺(1112)，所述移動臺(1112)可移動地安裝于所述凹槽(112a)。

10.根據權利要求9所述的一種真空腔室組件，其特征在于，所述真空腔室組件還包括第二調節件(140)，所述第二調節件(140)可移動地安裝于所述底座部(112)，并抵接所述支撐部(111)。