[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體測(cè)試用晶圓固定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223344480.2
• 申請(qǐng)日: 2022-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218867077U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫芯源利集成電路有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 臨沂清科世紀(jì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37410
• 代理人: 佘大鵬

本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體測(cè)試用晶圓固定裝置，涉及晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，包括安裝座、頂板、方框和液壓缸，所述方框的上側(cè)固定連接有固定機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置固定機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)在對(duì)晶圓進(jìn)行固定的同時(shí)，避免劃傷晶圓和晶圓損壞，通過(guò)啟動(dòng)薄型氣缸，薄型氣缸的活動(dòng)桿向上伸長(zhǎng)，并推動(dòng)連桿的一端，連桿的中部繞著底架的連接點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，連桿的另一端向下，從而帶動(dòng)螺紋桿和轉(zhuǎn)動(dòng)球向下，轉(zhuǎn)動(dòng)球推動(dòng)球形槽管，固定板獲力，通過(guò)下表面若干橡膠半球壓住晶圓，若干橡膠半球材質(zhì)是橡膠，不會(huì)劃傷晶圓，向下壓的過(guò)程中發(fā)生形變，與晶圓接觸的表面積擴(kuò)大，晶圓所受到的壓強(qiáng)較小，晶圓不會(huì)損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試用晶圓固定裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來(lái)越小，加工及測(cè)量設(shè)備越來(lái)越先進(jìn)，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。同時(shí)，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時(shí)，空氣中的顆粒數(shù)對(duì)晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大，而隨著潔凈的提高，顆粒數(shù)也出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)，晶圓測(cè)試作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的一環(huán)，在項(xiàng)目中的重要性也越來(lái)越高。

如中國(guó)專利CN217881449U公開(kāi)了一種半導(dǎo)體測(cè)試用晶圓固定裝置，包括圓盤，所述圓盤的外側(cè)表面呈環(huán)形均勻安裝有夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括固定塊與連接桿，所述固定塊的內(nèi)側(cè)表面固定連接有連接桿。此實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有活動(dòng)螺桿與滑動(dòng)盤，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)活動(dòng)螺桿，可以使活動(dòng)螺套在其表面移動(dòng)，當(dāng)活動(dòng)螺套在移動(dòng)時(shí)，可以使滑動(dòng)盤在固定套的內(nèi)部移動(dòng)，從而使吸附盤產(chǎn)生吸力，從而通過(guò)吸附盤的吸力可以將晶圓進(jìn)行吸附，可以使吸附盤產(chǎn)生較小的吸力，從而可以防止晶圓受到較大的吸力，此裝置通過(guò)設(shè)置有扭力彈簧與轉(zhuǎn)動(dòng)夾持桿，通過(guò)扭力彈簧自身的彈力，通過(guò)多組轉(zhuǎn)動(dòng)夾持桿與晶圓的表面相抵觸，從而避免晶圓在檢測(cè)的過(guò)程中晃動(dòng)偏移，導(dǎo)致檢測(cè)不準(zhǔn)確。

在現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓是放置在測(cè)試板中進(jìn)行測(cè)試的，因?yàn)槭菧y(cè)試，沒(méi)有封裝，導(dǎo)致晶圓測(cè)試板之間連接不夠緊密，現(xiàn)有的固定裝置只是避免晶圓在檢測(cè)的過(guò)程不偏移，但是固定的部分容易劃傷到晶圓的表面，嚴(yán)重的情況下，會(huì)是晶圓破損。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決背景技術(shù)中提出的晶圓是放置在測(cè)試板中進(jìn)行測(cè)試的，因?yàn)槭菧y(cè)試，沒(méi)有封裝，導(dǎo)致晶圓測(cè)試板之間連接不夠緊密，現(xiàn)有的固定裝置只是避免晶圓在檢測(cè)的過(guò)程不偏移，但是固定的部分容易劃傷到晶圓的表面，嚴(yán)重的情況下，會(huì)是晶圓破損的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體測(cè)試用晶圓固定裝置，包括安裝座、頂板、方框和液壓缸，所述方框的上側(cè)固定連接有固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)包括螺紋桿，所述螺紋桿的下端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)球，所述轉(zhuǎn)動(dòng)球的外表面活動(dòng)卡接有球形槽管，所述球形槽管的外表面螺紋連接有固定環(huán)，所述球形槽管的下側(cè)固定連接有固定板，所述固定板的下側(cè)固定連接有若干橡膠半球。

優(yōu)選的，所述螺紋桿的上端開(kāi)設(shè)有六邊形槽，所述螺紋桿的外表面螺紋連接有連桿。

優(yōu)選的，所述連桿的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有底架，所述底架的上側(cè)固定安裝有薄型氣缸。

優(yōu)選的，所述薄型氣缸的活動(dòng)桿上端與所述連桿的另一端下側(cè)活動(dòng)連接，所述底架的下側(cè)與所述方框的上側(cè)固定連接。

優(yōu)選的，所述方框的中部開(kāi)設(shè)有槽口，所述固定板位于所述槽口的中部。

優(yōu)選的，所述槽口的內(nèi)壁與所述頂板的兩側(cè)滑動(dòng)連接，所述頂板的下側(cè)與所述液壓缸的活動(dòng)桿固定連接。

優(yōu)選的，所述方框的下側(cè)與所述安裝座的上側(cè)固定連接，所述安裝座的內(nèi)部與所述液壓缸的外表面固定連接，所述液壓缸的活動(dòng)桿貫穿所述方框的下部。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于：