[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223344480.2
• 申請日: 2022-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN218867077U
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙昊
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫芯源利集成電路有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 臨沂清科世紀(jì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37410
• 代理人: 佘大鵬

1.一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，包括安裝座（1）、頂板（2）、方框（3）和液壓缸（6），其特征在于：所述方框（3）的上側(cè)固定連接有固定機(jī)構(gòu)（5），所述固定機(jī)構(gòu)（5）包括螺紋桿（51），所述螺紋桿（51）的下端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)球（53），所述轉(zhuǎn)動(dòng)球（53）的外表面活動(dòng)卡接有球形槽管（58），所述球形槽管（58）的外表面螺紋連接有固定環(huán)（57），所述球形槽管（58）的下側(cè)固定連接有固定板（59），所述固定板（59）的下側(cè)固定連接有若干橡膠半球（510）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，其特征在于：所述螺紋桿（51）的上端開設(shè)有六邊形槽（52），所述螺紋桿（51）的外表面螺紋連接有連桿（54）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，其特征在于：所述連桿（54）的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有底架（56），所述底架（56）的上側(cè)固定安裝有薄型氣缸（55）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，其特征在于：所述薄型氣缸（55）的活動(dòng)桿上端與所述連桿（54）的另一端下側(cè)活動(dòng)連接，所述底架（56）的下側(cè)與所述方框（3）的上側(cè)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，其特征在于：所述方框（3）的中部開設(shè)有槽口（4），所述固定板（59）位于所述槽口（4）的中部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，其特征在于：所述槽口（4）的內(nèi)壁與所述頂板（2）的兩側(cè)滑動(dòng)連接，所述頂板（2）的下側(cè)與所述液壓缸（6）的活動(dòng)桿固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，其特征在于：所述方框（3）的下側(cè)與所述安裝座（1）的上側(cè)固定連接，所述安裝座（1）的內(nèi)部與所述液壓缸（6）的外表面固定連接，所述液壓缸（6）的活動(dòng)桿貫穿所述方框（3）的下部。