[實用新型]一種晶圓的托舉組件

有效

• 申請號: 202223337455.1
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN219106126U
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發明（設計）人: 閻勇;尤夢琪
• 申請（專利權）人: 南京華易泰電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 南京中盟科創知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32279
• 代理人: 孫麗君

1.一種晶圓的托舉組件，其特征在于，包括橫桿(6)，所述橫桿(6)的一端固設有連桿(601)，所述橫桿(6)的長邊方向與連桿(601)的長邊方向垂直，所述連桿(601)遠離橫桿(6)的一端固設有放置晶圓的回型板(603)，所述回型板(603)的上表面開設有若干個鋸齒形凹槽(605)，若干個所述鋸齒形凹槽(605)在水平方向上呈陣列式排布。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓的托舉組件，其特征在于，所述回型板(603)內固設有兩個支撐晶圓的支撐桿(604)，所述回型板(603)和支撐桿(604)的截面均呈弧形，支撐桿(604)的上表面均開設有若干個鋸齒形凹槽(605)。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓的托舉組件，其特征在于，所述回型板(603)位于連桿(601)旁側且與連桿(601)下側邊固定連接，所述連桿(601)上中間位置處開設有鏤空槽(602)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓的托舉組件，其特征在于，所述橫桿(6)遠離連桿(601)的一端固設有水平設置的A方形板(606)，所述A方形板(606)上固設有位于橫桿(6)旁側的B方形板(607)，所述A方形板(606)的長邊方向與B方形板(607)的長邊方向垂直，所述B方形板(607)的長邊方向與橫桿(6)的長邊方向平行，所述B方形板(607)和橫桿(6)的底端齊平，所述述B方形板(607)和橫桿(6)的下方設有調整平臺(608)，所述調整平臺(608)上設有調整橫桿(6)在Y軸方向上移動的調節組件(7)。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓的托舉組件，其特征在于，所述調節組件(7)包括位于調整平臺(608)上表面中間位置的定位塊(701)，所述定位塊(701)與調整平臺(608)上表面固定連接，所述定位塊(701)上穿設有兩個徑向的導向柱(702)，所述導向柱(702)與定位塊(701)滑移連接，所述導向柱(702)的兩端均穿設出定位塊(701)，所述導向柱(702)穿設出定位塊(701)的兩端分別與橫桿(6)和B方形板(607)固定連接，所述調整平臺(608)上表面固設有兩個固定板(703)，兩個所述固定板(703)分別位于橫桿(6)和B方形板(607)背離定位塊(701)的一側，兩個所述固定板(703)相對設置，所述固定板(703)上開設有螺紋槽，且螺紋槽內通過螺紋連接有螺栓(704)，所述螺栓(704)的兩端均穿設出固定板(703)，兩個所述螺栓(704)的端部分別與橫桿(6)和B方形板(607)抵觸。

6.根據權利要求4所述的一種晶圓的托舉組件，其特征在于，所述調整平臺(608)上設有驅動調整平臺(608)在豎直方向上移動的控制組件(8)。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓的托舉組件，其特征在于，所述控制組件(8)包括軸向設置的支架，所述支架上轉動連接有控制絲桿，所述支架上固設有位于控制絲桿旁側的控制電機，所述控制電機的輸出軸端和控制絲桿的一端均嵌套有控制帶輪，兩個所述控制帶輪上均套設有與控制帶輪適配的控制同步帶，所述控制絲桿的外側通過螺紋套設有控制滑移塊，所述控制滑移塊上固設有移動板，所述移動板頂端與調整平臺(608)固定連接，所述控制滑移塊外周的四個端角處均固設有控制滑塊，所述支架上固設有位于控制絲桿旁側的控制線軌，所述控制滑塊套設在控制線軌上且與控制線軌滑移連接。