[實(shí)用新型]真空樣品轉(zhuǎn)移組件及真空系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223337093.6
• 申請(qǐng)日: 2022-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN219334267U
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝斌平;陳飛;王天鄰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 費(fèi)勉儀器科技（南京）有限公司;費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): B01L9/00
• 分類號(hào): B01L9/00
• 代理公司: 上海國(guó)瓴律師事務(wù)所 31363
• 代理人: 傅耀

本公開提供了一種真空樣品轉(zhuǎn)移組件及真空系統(tǒng)，真空樣品轉(zhuǎn)移組件包括真空筒；桿體，至少部分地設(shè)置在真空筒內(nèi)；插頭，設(shè)置在桿體的遠(yuǎn)端，包括至少一個(gè)針頭；傳動(dòng)磁組件，設(shè)置在桿體的近端，包括至少一個(gè)傳動(dòng)磁體，用于接收磁驅(qū)動(dòng)以帶動(dòng)桿體運(yùn)動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng)磁組件，設(shè)置在真空筒外，包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)磁體，至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)磁體與至少一個(gè)傳動(dòng)磁體磁耦合，用于驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)磁組件運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空樣品轉(zhuǎn)移組件及真空系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在真空環(huán)境下的生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)中，真空系統(tǒng)中的樣品需要?dú)v經(jīng)進(jìn)樣、生長(zhǎng)、處理、表征等各個(gè)過程，因此往往需要對(duì)樣品進(jìn)行各種運(yùn)動(dòng)操作。例如，在真空腔內(nèi)，通常需要對(duì)樣品進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，以對(duì)樣品的正面和背面都進(jìn)行處理。但是，目前的樣品托盤和抓取裝置難以穩(wěn)定、精準(zhǔn)、快速地實(shí)現(xiàn)樣品的翻轉(zhuǎn)、移動(dòng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本公開提供了一種真空樣品轉(zhuǎn)移組件包括：真空筒；桿體，至少部分地設(shè)置在真空筒內(nèi)；插頭，設(shè)置在桿體的遠(yuǎn)端，包括至少一個(gè)針頭；傳動(dòng)磁組件，設(shè)置在桿體的近端，包括至少一個(gè)傳動(dòng)磁體，用于接收磁驅(qū)動(dòng)以帶動(dòng)桿體運(yùn)動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng)磁組件，設(shè)置在真空筒外，包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)磁體，至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)磁體與至少一個(gè)傳動(dòng)磁體磁耦合，用于驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)磁組件運(yùn)動(dòng)。

在一些實(shí)施例中，真空樣品轉(zhuǎn)移組件還包括：波紋管，套設(shè)在真空筒的遠(yuǎn)端；以及萬向節(jié)，設(shè)置在波紋管中并與真空筒連接，萬向節(jié)用于允許真空筒沿徑向偏移。

在一些實(shí)施例中，萬向節(jié)包括弧面套筒，弧面套筒套設(shè)在真空筒外。

在一些實(shí)施例中，真空樣品轉(zhuǎn)移組件還包括：真空法蘭，與波紋管真空密封連接，真空法蘭包括從近端向遠(yuǎn)端收縮的開口，用于容納真空筒的徑向偏移。

在一些實(shí)施例中，真空樣品轉(zhuǎn)移組件還包括：?？考埽c真空法蘭固定連接，用于停靠真空筒。

在一些實(shí)施例中，真空樣品轉(zhuǎn)移組件還包括：手柄，套設(shè)在真空筒外，用于容納驅(qū)動(dòng)磁組件；或者電機(jī)以及與電機(jī)的輸出端耦合的傳動(dòng)裝置，傳動(dòng)裝置與驅(qū)動(dòng)磁組件連接，用于驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)磁組件運(yùn)動(dòng)。

在一些實(shí)施例中，至少一個(gè)針頭包括單行并排的多個(gè)針頭或者兩行并排的多個(gè)針頭；和/或至少一個(gè)針頭的橫截面包括圓形、矩形、三角形、多邊形或橢圓形。

在一些實(shí)施例中，真空樣品轉(zhuǎn)移組件還包括樣品托組件，樣品托組件包括：樣品托盤；以及至少一個(gè)基座，設(shè)置在樣品托盤的正面和/或背面，基座包括至少一個(gè)凹槽，凹槽設(shè)置在基座的側(cè)面，用于與針頭配合。

在一些實(shí)施例中，桿體的運(yùn)動(dòng)包括沿軸向的移動(dòng)、繞軸向的旋轉(zhuǎn)或沿徑向的偏移中的至少一項(xiàng)。

在一些實(shí)施例中，一種真空系統(tǒng)包括：真空腔；根據(jù)本公開任一實(shí)施例的真空樣品轉(zhuǎn)移組件，其中真空樣品轉(zhuǎn)移組件的真空筒與真空腔真空密封連接，插頭伸入真空腔中。

根據(jù)本公開一些實(shí)施例的真空樣品轉(zhuǎn)移組件及真空系統(tǒng)能夠解決常規(guī)真空設(shè)備中樣品無法穩(wěn)定、精準(zhǔn)、快速地實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)、移動(dòng)的問題。在本公開的一些實(shí)施例中，真空樣品轉(zhuǎn)移組件能夠準(zhǔn)確地與樣品托組件相配合，快速、穩(wěn)定地抓取樣品托組件，可以在原位實(shí)現(xiàn)進(jìn)退平移、樣品翻轉(zhuǎn)、偏移調(diào)整或各種組合運(yùn)動(dòng)，滿足了真空樣品處理的各種要求，無需配置冗余的調(diào)整(例如，翻轉(zhuǎn))真空腔，也無需破壞真空，拓展了真空系統(tǒng)的處理能力和應(yīng)用范圍，降低了真空系統(tǒng)的樣品翻轉(zhuǎn)和移動(dòng)成本，提高了真空系統(tǒng)的處理效率和適用性。

附圖說明

為了更清楚地說明本公開實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本公開的一種實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1示出根據(jù)本公開一些實(shí)施例的真空樣品轉(zhuǎn)移組件的立體示意圖；