[實用新型]真空樣品轉移組件及真空系統

有效

• 申請號: 202223337093.6
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN219334267U
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 謝斌平;陳飛;王天鄰
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技（南京）有限公司;費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: B01L9/00
• 分類號: B01L9/00
• 代理公司: 上海國瓴律師事務所 31363
• 代理人: 傅耀

1.一種真空樣品轉移組件，其特征在于，包括：

真空筒；

桿體，至少部分地設置在所述真空筒內；

插頭，設置在所述桿體的遠端，包括至少一個針頭；

傳動磁組件，設置在所述桿體的近端，包括至少一個傳動磁體，用于接收磁驅動以帶動所述桿體運動；以及

驅動磁組件，設置在所述真空筒外，包括至少一個驅動磁體，所述至少一個驅動磁體與所述至少一個傳動磁體磁耦合，用于驅動所述傳動磁組件運動。

2.根據權利要求1所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，還包括：

波紋管，套設在所述真空筒的遠端；以及

萬向節，設置在所述波紋管中并與所述真空筒連接，所述萬向節用于允許所述真空筒沿徑向偏移。

3.根據權利要求2所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，所述萬向節包括弧面套筒，所述弧面套筒套設在所述真空筒外。

4.根據權利要求2所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，還包括：

真空法蘭，與所述波紋管真空密封連接，所述真空法蘭包括從近端向遠端收縮的開口，用于容納所述真空筒的徑向偏移。

5.根據權利要求4所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，還包括：

停靠架，與所述真空法蘭固定連接，用于停靠所述真空筒。

6.根據權利要求1所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，還包括：

手柄，套設在所述真空筒外，用于容納所述驅動磁組件；或者

電機以及與所述電機的輸出端耦合的傳動裝置，所述傳動裝置與所述驅動磁組件連接，用于驅動所述驅動磁組件運動。

7.根據權利要求1所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，

所述至少一個針頭包括單行并排的多個針頭或者兩行并排的多個針頭；和/或

所述至少一個針頭的橫截面包括圓形、矩形、三角形、多邊形或橢圓形。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，還包括樣品托組件，所述樣品托組件包括：

樣品托盤；以及

至少一個基座，設置在所述樣品托盤的正面和/或背面，所述基座包括至少一個凹槽，所述凹槽設置在所述基座的側面，用于與所述針頭配合。

9.根據權利要求1-7中任一項所述的真空樣品轉移組件，其特征在于，所述桿體的運動包括沿軸向的移動、繞軸向的旋轉或沿徑向的偏移中的至少一項。

10.一種真空系統，其特征在于，包括：

真空腔；

根據權利要求1-9中任一項所述的真空樣品轉移組件，其中所述真空樣品轉移組件的所述真空筒與所述真空腔真空密封連接，所述插頭伸入所述真空腔中。