[實(shí)用新型]一種多層式濕化學(xué)處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223333869.7
• 申請(qǐng)日: 2022-12-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN219169077U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 付金海;高志峰;吳晉;黃允文;劉二壯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海普達(dá)特半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;F26B21/00
• 代理公司: 北京永新同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376
• 代理人: 楊勝軍

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多層式濕化學(xué)處理設(shè)備，所述多層式濕化學(xué)處理設(shè)備至少包括第一清洗單元和第二清洗單元，其中，所述第一清洗單元通過(guò)上下疊置的方式布置在所述第二清洗單元之上，并且其中，所述第二清洗單元的頂部蓋板被構(gòu)造為平面。由于依據(jù)本實(shí)用新型的多層式濕化學(xué)處理設(shè)備所包括的位于下層的清洗單元的頂部蓋板被構(gòu)造為平面，所以多個(gè)清洗單元能夠以上下疊置的方式進(jìn)行布置，這一方面提高了清洗效率另一方面也減小了濕化學(xué)處理設(shè)備的占用面積，降低場(chǎng)地成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，并且更具體而言涉及一種多層式濕化學(xué)處理設(shè)備。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的電池片濕化學(xué)處理設(shè)備通常由單層鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)形成。如圖1所示，圖中示出的是一種典型的單層鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)。從圖1之中可以看出，鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)1為單層結(jié)構(gòu)，電池片從進(jìn)口2進(jìn)入清洗機(jī)1。供液槽體3和管路4分別容納于相應(yīng)的空間之中。此外，清洗機(jī)1還布置有氣控箱和電氣控制柜(圖中未示出)。

從圖1之中可以看出，由于清洗機(jī)1的上部殼體為弧形，故不能制造多層的層疊結(jié)構(gòu)，也就是說(shuō)目前的清洗機(jī)1均是單層布置，這將限制產(chǎn)能。如果需要增加產(chǎn)能，必然需要更大的場(chǎng)地，而這樣必然會(huì)帶來(lái)運(yùn)營(yíng)成本尤其是場(chǎng)地租賃成本的顯著提升，并且占地空間大。

由此可見(jiàn)，現(xiàn)有技術(shù)中的清洗機(jī)并不能滿足現(xiàn)如今大規(guī)模生產(chǎn)的需要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本公開(kāi)內(nèi)容的目的旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題和缺陷中的至少一方面，即至少能夠提高清洗效率或者降低運(yùn)營(yíng)成本。

針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種多層式濕化學(xué)處理設(shè)備，所述多層式濕化學(xué)處理設(shè)備至少包括第一清洗單元和第二清洗單元，其中，所述第一清洗單元通過(guò)上下疊置的方式布置在所述第二清洗單元之上，并且其中，所述第二清洗單元的頂部蓋板被構(gòu)造為平面。

由于依據(jù)本實(shí)用新型的多層式濕化學(xué)處理設(shè)備所包括的位于下層的清洗單元的頂部蓋板被構(gòu)造為平面，所以多個(gè)清洗單元能夠以上下疊置的方式進(jìn)行布置，這一方面提高了清洗效率另一方面也減小了濕化學(xué)處理設(shè)備的占用面積，降低場(chǎng)地成本。

在根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)示例性的實(shí)施例之中，所述第一清洗單元和所述第二清洗單元包括共用的液體通道。以這樣的方式將液體通道共用，這一方面可以節(jié)約成本，另一方面也提高了用于清洗的液體的利用效率。

在根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)示例性的實(shí)施例之中，所述液體通道包括進(jìn)液通道和排液通道。以這樣的方式能夠高效安全地管理用于清洗被清洗部件(例如電池片等半導(dǎo)體晶圓)的液體回路，提高液體利用效率并相應(yīng)地提高清洗效果。

在根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)示例性的實(shí)施例之中，所述第一清洗單元和所述第二清洗單元分別包括獨(dú)立的排氣通道。在依據(jù)本公開(kāi)的技術(shù)方案之中，由于排氣通道是相互獨(dú)立的，從而能夠保證相互疊置的兩層或者多層的清洗單元的排氣順暢，不會(huì)對(duì)清洗效率產(chǎn)生任何不良影響。

在根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)示例性的實(shí)施例之中，所述多層式濕化學(xué)處理設(shè)備還包括第三清洗單元，其中，所述第二清洗單元通過(guò)上下疊置的方式布置在所述第三清洗單元之上，并且其中，所述第三清洗單元的頂部蓋板被構(gòu)造為平面。以這樣的方式，由于依據(jù)本實(shí)用新型的多層式濕化學(xué)處理設(shè)備所包括的位于下層的第二清洗單元和第三清洗單元的頂部蓋板被構(gòu)造為平面，所以多個(gè)清洗單元能夠以上下疊置的方式進(jìn)行布置，這一方面提高了清洗效率另一方面也減小了濕化學(xué)處理設(shè)備的占用面積，降低場(chǎng)地成本。

在根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)示例性的實(shí)施例之中，所述第一清洗單元、所述第二清洗單元以及所述第三清洗單元包括共用的液體通道。以這樣的方式將液體通道共用，這一方面可以節(jié)約成本，另一方面也提高了用于清洗的液體的利用效率。