[實用新型]一種投影式曝光設備

有效

• 申請號: 202223328184.3
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN218886396U
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 姚宇;請求不公布姓名;請求不公布姓名;李中天
• 申請（專利權）人: 蘇州太陽井新能源有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及光伏設備領域，具體是一種投影式曝光設備，所述投影式曝光設備包括：光源；掩膜板，所述掩膜板上形成有預定圖案，所述預定圖案用于透過部分來自所述光源的光線；光學組件，所述光學組件用于接收并調整穿過所述掩膜板的光線，所述光源、所述掩膜板及所述光學組件沿著第一方向依次設置；載臺，所述載臺用于承載附著有感光膠的太陽能電池片，且能夠接收所述光學組件調整后的光線。本實用新型的投影式曝光設備能夠避免掩膜板損傷，且具有較好的曝光效果。

技術領域

本實用新型涉及光伏設備領域，特別涉及一種投影式曝光設備。

背景技術

絲網印刷法是目前應用最廣泛的晶硅太陽能柵線制備方法，該方法使用絲網印刷銀漿料，再經過高溫或低溫燒結形成柵線來導出光生載流子。該方法工藝簡單，但是使用的銀漿料的成本高，且印刷出的銀柵線的寬度及高寬比受到限制，導致電池效率較低。

采用電鍍法制作太陽能電池的柵線可以降低成本和提升電池效率，具體的，電鍍法可使用成本更低的鎳、銅等金屬來部分或者全部替代銀金屬，可以通過光刻蝕形成更窄的柵線，降低電池的遮光面積，提高電池的電流，從而提高光電轉換效率。

上述電鍍法中會涉及電鍍掩膜圖形化，而現有的曝光設備采用接近式曝光，很容易造成掩膜板損壞。

實用新型內容

針對現有技術的上述問題，本實用新型的目的在于提供一種投影式曝光設備，能夠避免掩膜板損傷，且具有較好的曝光效果。

為了解決上述問題，本實用新型提供一種投影式曝光設備，所述投影式曝光設備包括：

光源；

掩膜板，所述掩膜板上形成有預定圖案，所述預定圖案用于透過部分來自所述光源的光線；

光學組件，用于接收并調整穿過所述掩膜板的光線，所述光源、所述掩膜板及所述光學組件沿著第一方向依次設置；

載臺，所述載臺用于承載附著有感光膠的太陽能電池片，且能夠接收所述光學組件調整后的光線。

進一步地，所述投影式曝光設備還包括：

殼體，所述光源的發光部位于所述殼體內，所述掩膜板至少部分位于所述殼體內且距離所述光源有預定距離。

進一步地，所述掩膜板可拆卸地連接于所述殼體。

進一步地，所述殼體在對應所述掩膜板的位置形成有第一開口，所述掩膜板與所述第一開口相適配，所述掩膜板可抽拉地設置在所述第一開口處。

進一步地，所述殼體在對應所述掩膜板的位置形成有第二開口，所述的投影式曝光設備還包括：

置物板，所述置物板中部形成有透光區域，所述掩膜板連接于所述置物板，所述預定圖案層疊設置于所述透光區域，所述置物板與所述第二開口相適配，所述置物板可抽拉地設置在所述第二開口處。

進一步地，所述殼體包括：

第一殼體，所述第一殼體在沿所述第一方向延伸的一端形成第三開口，所述光源的發光部位于所述第一殼體內；

第二殼體，所述第二殼體的兩端均形成第四開口；

所述第一殼體鄰近第三開口的端部與所述第二殼體的鄰近其中一個第四開口的端部可拆卸地連接，所述掩膜板連接在所述第一殼體鄰近所述第二殼體的端部，或連接在所述第二殼體鄰近所述第一殼體的端部。

進一步地，所述光學組件包括：

鏡筒，所述鏡筒包括第一鏡筒和與所述第一鏡筒螺紋連接的第二鏡筒；