[實用新型]一種投影式曝光設備

有效

• 申請號: 202223328184.3
• 申請日: 2022-12-12
• 公開（公告）號: CN218886396U
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 姚宇;請求不公布姓名;請求不公布姓名;李中天
• 申請（專利權）人: 蘇州太陽井新能源有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種投影式曝光設備，其特征在于，包括：

光源；

掩膜板，所述掩膜板上形成有預定圖案，所述預定圖案用于透過部分來自所述光源的光線；

光學組件，所述光學組件用于接收并調整穿過所述掩膜板的光線，所述光源、所述掩膜板及所述光學組件沿著第一方向依次設置；

載臺，所述載臺用于承載附著有感光膠的太陽能電池片，且能夠接收所述光學組件調整后的光線。

2.根據權利要求1所述的投影式曝光設備，其特征在于，還包括：

殼體，所述光源的發光部位于所述殼體內，所述掩膜板至少部分位于所述殼體內且距離所述光源有預定距離。

3.根據權利要求2所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述掩膜板可拆卸地連接于所述殼體。

4.根據權利要求3所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述殼體在對應所述掩膜板的位置形成有第一開口，所述掩膜板與所述第一開口相適配，所述掩膜板可抽拉地設置在所述第一開口處。

5.根據權利要求3所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述殼體在對應所述掩膜板的位置形成有第二開口，所述投影式曝光設備還包括：

置物板，所述置物板中部形成有透光區域，所述掩膜板連接于所述置物板，所述預定圖案層疊設置于所述透光區域，所述置物板與所述第二開口相適配，所述置物板可抽拉地設置在所述第二開口處。

6.根據權利要求3所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述殼體包括：

第一殼體，所述第一殼體在沿所述第一方向延伸的一端形成第三開口，所述光源的發光部位于所述第一殼體內；

第二殼體，所述第二殼體的兩端均形成第四開口；

所述第一殼體鄰近第三開口的端部與所述第二殼體的鄰近其中一個第四開口的端部可拆卸地連接，所述掩膜板連接在所述第一殼體鄰近所述第二殼體的端部，或連接在所述第二殼體鄰近所述第一殼體的端部。

7.根據權利要求2所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述光學組件包括：

鏡筒，所述鏡筒包括第一鏡筒和與所述第一鏡筒螺紋連接的第二鏡筒；

多個光學鏡片，多個所述光學鏡片沿著所述鏡筒的延伸方向間隔開地設置在所述第一鏡筒和所述第二鏡筒內，通過轉動所述第二鏡筒或所述第一鏡筒能夠使得位于所述第二鏡筒內的所述光學鏡片相靠近或遠離位于所述第一鏡筒內的所述光學鏡片，從而調節所述光學組件的光學倍率。

8.根據權利要求7所述的投影式曝光設備，其特征在于，在所述第一鏡筒和所述第二鏡筒相配合處分別設置有相對應的指示刻度，以通過所述指示刻度確定所述第一鏡筒和所述第二鏡筒相對轉動的距離。

9.根據權利要求7所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述鏡筒與所述殼體一體成型、所述鏡筒與所述殼體螺紋連接或所述鏡筒與所述殼體卡扣連接。

10.根據權利要求7所述的投影式曝光設備，其特征在于，所述光學組件包括擴束鏡和/或縮束鏡。

11.根據權利要求1所述的投影式曝光設備，其特征在于，還包括：

驅動機構，所述驅動機構承載所述載臺，以移動所述載臺，

所述驅動機構包括：

L型支架，所述L型支架包括橫板和垂直設置在所述橫板底端的豎板，所述驅動機構通過所述橫板承載所述載臺；

升降電機，所述升降電機連接在所述豎板的底端，以驅動所述豎板進行升降運動。