[實用新型]一種濺射真空電子束蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202223323342.6
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN218910493U
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 黃祥恩;談勇;屈顯波;蔣華
• 申請（專利權）人: 桂林光隆科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/02;C23C14/56;B01D46/10;B01D46/42
• 代理公司: 桂林文必達專利代理事務所(特殊普通合伙) 45134
• 代理人: 張學平

本實用新型涉及鍍膜設備技術領域，具體涉及一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，包括清潔室、蒸鍍室、鍍膜機構和過濾組件，過濾組件包括連接管、抱窟、濾網和安裝機構；濾網通過安裝機構安裝在連接管上，并將連接管安裝于進氣口的一側，通過使用抱窟將連接管在進氣口的一側，避免連接管在設備運轉時掉落，完成安裝后，將離化氣通過連接管放入清潔室內，通過濾網對離化氣進行過濾，通過對離化氣進行過濾，提高離化氣的清潔度，避免有雜質掉落在帶材上，從而解決在通過進氣口將離化氣放入清潔室內時，不能對離化氣進行過濾，使得離化氣內的雜質跟隨進入清潔室掉落在帶材上，影響帶材的鍍膜質量的問題。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜設備技術領域，具體涉及一種濺射真空電子束蒸鍍裝置。

背景技術

在半導體工藝中，金屬薄膜是一種常見的工藝，而電子束蒸鍍和磁控濺射是金屬薄膜工藝的主流技術。

目前，現有技術(CN209144244U)公開了一種裝置，包括清潔室、蒸鍍室和鍍膜機構，清潔室具有進氣口和出氣口，蒸鍍室具有抽氣口，在對帶材進行鍍膜之前，通過出氣口和抽氣口，將蒸鍍室和清潔室內的空氣排出，再通過清潔室的進氣口將清潔離化氣通過進氣口放入清潔室內，對帶材進行清潔，在將帶材放入蒸鍍室內，啟動鍍膜機構將鍍膜材料融化蒸發后在帶材上進行鍍膜，通過清潔的帶材能夠提高鍍膜層的結合力，改善鍍膜層的應力。

但是采用上述方式，在通過進氣口將離化氣放入清潔室內時，不能對離化氣進行過濾，使得離化氣內的雜質跟隨進入清潔室掉落在帶材上，影響帶材的鍍膜質量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，旨在解決在通過進氣口將離化氣放入清潔室內時，不能對離化氣進行過濾，使得離化氣內的雜質跟隨進入清潔室掉落在帶材上，影響帶材的鍍膜質量的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，包括清潔室、蒸鍍室、鍍膜機構和過濾組件，清潔室具有進氣口和出氣口，蒸鍍室具有抽氣口，所述蒸鍍室與所述清潔室連通，并位于所述清潔室的一側，所述鍍膜機構與所述蒸鍍室連接，并位于所述蒸鍍室的一側，所述過濾組件包括連接管、抱窟、濾網和安裝機構；

所述連接管與所述清潔室連通，并位于所述清潔室靠近所述進氣口的一側，所述抱窟與所述連接管連接，并位于所述連接管靠近所述清潔室的一側，所述濾網與所述連接管滑動連接，并位于所述連接管的一側，所述安裝機構與所述濾連接，并位于所述濾網的一側。

其中，所述過濾組件還包括密封機構，所述密封機構設置于所述連接管的一側。

其中，所述抱窟包括圓圈、卡扣和螺栓，所述圓圈與所述連接管連接，并位于所述連接管靠近所述清潔室的一側，所述卡扣與所述圓圈固定連接，并位于所述圓圈的一側，所述螺栓與所述圓圈螺紋連接，且穿過所述卡扣。

其中，所述安裝機構包括彈簧、滑動塊和拉桿，所述彈簧與所述連接管固定連接，并位于所述連接管的一側，所述滑動塊與所述彈簧固定連接，且與所述連接管滑動連接，所述拉桿與所述滑動塊固定連接，且與所述連接管滑動連接。

其中，所述密封機構包括合頁、密封蓋和紗布，所述合頁與所述連接管轉動連接，并位于所述連接管的一側，所述密封蓋與所述合頁固定連接，并位于所述合頁的一側，所述紗布與所述密封蓋固定連接，并位于所述密封蓋的一側。