[實用新型]一種濺射真空電子束蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202223323342.6
• 申請日: 2022-12-09
• 公開（公告）號: CN218910493U
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 黃祥恩;談勇;屈顯波;蔣華
• 申請（專利權）人: 桂林光隆科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/02;C23C14/56;B01D46/10;B01D46/42
• 代理公司: 桂林文必達專利代理事務所(特殊普通合伙) 45134
• 代理人: 張學平

1.一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，包括清潔室、蒸鍍室和鍍膜機構，清潔室具有進氣口和出氣口，蒸鍍室具有抽氣口，所述蒸鍍室與所述清潔室連通，并位于所述清潔室的一側，所述鍍膜機構與所述蒸鍍室連接，并位于所述蒸鍍室的一側，其特征在于，

還包括過濾組件，所述過濾組件包括連接管、抱窟、濾網和安裝機構；

所述連接管與所述清潔室連通，并位于所述清潔室靠近所述進氣口的一側，所述抱窟與所述連接管連接，并位于所述連接管靠近所述清潔室的一側，所述濾網與所述連接管滑動連接，并位于所述連接管的一側，所述安裝機構與所述濾連接，并位于所述濾網的一側。

2.如權利要求1所述的一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，其特征在于，

所述過濾組件還包括密封機構，所述密封機構設置于所述連接管的一側。

3.如權利要求2所述的一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，其特征在于，

所述抱窟包括圓圈、卡扣和螺栓，所述圓圈與所述連接管連接，并位于所述連接管靠近所述清潔室的一側，所述卡扣與所述圓圈固定連接，并位于所述圓圈的一側，所述螺栓與所述圓圈螺紋連接，且穿過所述卡扣。

4.如權利要求3所述的一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，其特征在于，

所述安裝機構包括彈簧、滑動塊和拉桿，所述彈簧與所述連接管固定連接，并位于所述連接管的一側，所述滑動塊與所述彈簧固定連接，且與所述連接管滑動連接，所述拉桿與所述滑動塊固定連接，且與所述連接管滑動連接。

5.如權利要求4所述的一種濺射真空電子束蒸鍍裝置，其特征在于，

所述密封機構包括合頁、密封蓋和紗布，所述合頁與所述連接管轉動連接，并位于所述連接管的一側，所述密封蓋與所述合頁固定連接，并位于所述合頁的一側，所述紗布與所述密封蓋固定連接，并位于所述密封蓋的一側。