[實(shí)用新型]一種晶圓盤(pán)夾具、晶圓盤(pán)工作臺(tái)及共晶機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223307868.5
• 申請(qǐng)日: 2022-12-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218776480U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宗偉;徐文波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢瑞弘鑫精密制造有限公司
• 主分類號(hào): B25B11/00
• 分類號(hào): B25B11/00;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 深圳國(guó)海智峰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44489
• 代理人: 畢文悅

本實(shí)用新型涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓盤(pán)夾具、晶圓盤(pán)工作臺(tái)及共晶機(jī)。該晶圓盤(pán)夾具用于晶圓盤(pán)的夾緊固定，其包括：卡盤(pán)，卡盤(pán)上設(shè)有開(kāi)口，以使卡盤(pán)形成第一連接端與第二連接端；套環(huán)，套環(huán)套設(shè)在卡盤(pán)內(nèi)，并與卡盤(pán)可拆卸連接，且套環(huán)的厚度依據(jù)晶圓盤(pán)的尺寸而定；鎖緊連接件，鎖緊連接件安裝在卡盤(pán)的開(kāi)口處，且鎖緊連接件的兩端分別與卡盤(pán)的第一連接端、第二連接端相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比，該晶圓盤(pán)夾具可適用于不同尺寸規(guī)格的晶圓盤(pán)，提高了夾具的通用性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓盤(pán)夾具、晶圓盤(pán)工作臺(tái)及共晶機(jī)。

背景技術(shù)

共晶機(jī)是指在相對(duì)較低的溫度下共晶焊料發(fā)生共晶物熔合的現(xiàn)象，共晶合金直接從固態(tài)變到液態(tài)，而不經(jīng)過(guò)塑性階段，是一個(gè)液態(tài)同時(shí)生成兩個(gè)固態(tài)的平衡反應(yīng)，其熔化溫度稱共晶溫度。

現(xiàn)有共晶機(jī)一般通過(guò)晶圓載盤(pán)承載晶圓盤(pán)，進(jìn)行上料等，晶圓載盤(pán)尺寸固定，而現(xiàn)有晶圓盤(pán)尺寸有多種規(guī)格，當(dāng)需要不同規(guī)格晶圓盤(pán)上料時(shí)，只能通過(guò)更換整個(gè)晶圓載盤(pán)部件，以適應(yīng)晶圓盤(pán)尺寸的變化；晶圓載盤(pán)整個(gè)部件更換，耗時(shí)耗力，增加了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。

如授權(quán)號(hào)為CN214081265U，名稱為晶圓盤(pán)可移動(dòng)工作臺(tái)，并具體公開(kāi)了如下技術(shù)方案：

晶圓盤(pán)可移動(dòng)工作臺(tái)，包括移動(dòng)平臺(tái)，移動(dòng)平臺(tái)的上端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐柱，支撐柱貫穿并固定連接有第一錐齒輪，移動(dòng)平臺(tái)的上端固定連接有固定塊，固定塊上固定連接有電機(jī)，電機(jī)的輸出端固定連接有第二錐齒輪，第二錐齒輪與第一錐齒輪相互嚙合，支撐柱的上端固定連接有托盤(pán)，托盤(pán)上端設(shè)有晶圓載盤(pán)，晶圓載盤(pán)上設(shè)有多個(gè)晶圓槽。雖然一個(gè)晶圓載盤(pán)上可以開(kāi)設(shè)多個(gè)晶圓槽，用于放置晶圓盤(pán)，但只能同時(shí)放置同一規(guī)格的多個(gè)晶圓盤(pán)，不能實(shí)現(xiàn)不同規(guī)格尺寸晶圓盤(pán)的通用，通用性較差。

基于此，本實(shí)用新型中提供了一種新型的晶圓盤(pán)夾具、晶圓盤(pán)工作臺(tái)及共晶機(jī)，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提供一種晶圓盤(pán)夾具，該晶圓盤(pán)夾具可適用于不同尺寸規(guī)格的晶圓盤(pán)，提高了夾具的通用性。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種晶圓盤(pán)夾具，用于晶圓盤(pán)的夾緊固定，其包括：

卡盤(pán)，所述卡盤(pán)上設(shè)有開(kāi)口，以使所述卡盤(pán)形成第一連接端與第二連接端；

套環(huán)，所述套環(huán)套設(shè)在所述卡盤(pán)內(nèi)，并與所述卡盤(pán)可拆卸連接，且所述套環(huán)的厚度依據(jù)晶圓盤(pán)的尺寸而定；

鎖緊連接件，所述鎖緊連接件安裝在所述卡盤(pán)的開(kāi)口處，且所述鎖緊連接件的兩端分別與所述卡盤(pán)的第一連接端、第二連接端相連。

進(jìn)一步的，所述鎖緊連接件為卡扣，所述卡扣的一端與所述卡盤(pán)的第一連接端鉸接連接，另一端與所述卡盤(pán)的第二連接端卡扣連接。

進(jìn)一步的，所述套環(huán)通過(guò)螺釘與所述卡盤(pán)的內(nèi)壁固定連接。

進(jìn)一步的，所述卡盤(pán)呈乒乓球拍狀，包括用于夾緊晶圓盤(pán)的夾持部、以及用于固定安裝的定位部。

進(jìn)一步的，所述套環(huán)的頂部形成有頂階梯，用于支撐晶圓盤(pán)。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型中該晶圓盤(pán)夾具，用于晶圓盤(pán)的夾緊固定。使用時(shí)，將晶圓盤(pán)放置于套環(huán)內(nèi)，而后通過(guò)鎖緊連接件實(shí)現(xiàn)對(duì)卡盤(pán)開(kāi)口處的鎖緊固定，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盤(pán)的夾緊固定。該套環(huán)可拆卸安裝在卡盤(pán)內(nèi)，便于套環(huán)的拆卸與組裝，同時(shí)，該套環(huán)的厚度依據(jù)晶圓盤(pán)的尺寸而定，使得該晶圓盤(pán)夾具可適用于不同尺寸規(guī)格的晶圓盤(pán)，提高了夾具的通用性。此外，該夾具通過(guò)鎖緊連接件實(shí)現(xiàn)鎖緊固定，實(shí)現(xiàn)方式簡(jiǎn)單、可靠，方便套環(huán)的更換。

本實(shí)用新型第二個(gè)目的在于提供一種晶圓盤(pán)工作臺(tái)，其包括：

機(jī)架；

X軸滑移模組，所述X軸滑移模組安裝在所述機(jī)架上；