[實(shí)用新型]一種晶圓盤夾具、晶圓盤工作臺(tái)及共晶機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202223307868.5 | 申請(qǐng)日： | 2022-12-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN218776480U | 公開（公告）日： | 2023-03-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王宗偉;徐文波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 武漢瑞弘鑫精密制造有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B25B11/00 | 分類號(hào)： | B25B11/00;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳國海智峰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44489 | 代理人： | 畢文悅 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 圓盤 夾具 工作臺(tái) 共晶機(jī) | ||
1.一種晶圓盤夾具，用于晶圓盤的夾緊固定，其特征在于：其包括：
卡盤，所述卡盤上設(shè)有開口，以使所述卡盤形成第一連接端與第二連接端；
套環(huán)，所述套環(huán)套設(shè)在所述卡盤內(nèi)，并與所述卡盤可拆卸連接，且所述套環(huán)的厚度依據(jù)晶圓盤的尺寸而定；
鎖緊連接件，所述鎖緊連接件安裝在所述卡盤的開口處，且所述鎖緊連接件的兩端分別與所述卡盤的第一連接端、第二連接端相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盤夾具，其特征在于：
所述鎖緊連接件為卡扣，所述卡扣的一端與所述卡盤的第一連接端鉸接連接，另一端與所述卡盤的第二連接端卡扣連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盤夾具，其特征在于：
所述套環(huán)通過螺釘與所述卡盤的內(nèi)壁固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盤夾具，其特征在于：
所述卡盤呈乒乓球拍狀，包括用于夾緊晶圓盤的夾持部、以及用于固定安裝的定位部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盤夾具，其特征在于：
所述套環(huán)的頂部形成有頂階梯，用于支撐晶圓盤。
6.一種晶圓盤工作臺(tái)，其特征在于：其包括：
機(jī)架；
X軸滑移模組，所述X軸滑移模組安裝在所述機(jī)架上；
Y軸滑移模組，所述Y軸滑移模組安裝在所述X軸滑移模組的X軸滑移臺(tái)上，且所述Y軸滑移模組的滑行方向與所述X軸滑移模組的滑行方向相垂直；
晶圓盤夾具，所述晶圓盤夾具固定安裝在所述Y軸滑移模組的Y軸滑移臺(tái)上，所述晶圓盤夾具為權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述晶圓盤夾具。
7.一種共晶機(jī)，其特征在于：所述共晶機(jī)包括權(quán)利要求6所述的晶圓盤工作臺(tái)。
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