[實用新型]一種晶圓加工用吸盤

有效

• 申請號: 202223299027.4
• 申請日: 2022-12-05
• 公開（公告）號: CN218808992U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 吳繼勇
• 申請（專利權）人: 江蘇宿芯半導體有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 常州市科佑新創專利代理有限公司 32672
• 代理人: 潘志梅

本實用新型公開了一種晶圓加工用吸盤，包括吸盤殼體，所述吸盤殼體的內部開設有腔體，所述吸盤殼體的邊緣開設有安裝槽，所述安裝槽內從里向外依次設有第一吸板、第二吸板、第三吸板和第四吸板，所述吸盤殼體的底端設有橡膠吸板，所述吸盤殼體的另一端連接有連接板，所述連接板上開設有吸氣孔，所述吸氣孔上連通有主吸氣管，所述主吸氣管的一側連通有副吸氣管。本實用新型具有若干吸板對橡膠吸板進行支撐，使得晶圓在吸附的時候，不會因為晶圓中心處應力不均勻發生破裂，以及設有若干吸板，且吸板上開設有不同的，且錯位的吸氣孔，便于降低氣壓流速和強度，并且保持氣壓的均勻性，便于進行吸附和轉移晶圓，保持晶圓的安全性。

技術領域

本實用新型涉及晶圓技術領域，具體為一種晶圓加工用吸盤。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。

在晶圓進行生產加工的時候，需要對晶圓進行轉移，在晶圓進行轉移的時候，需要使用到吸盤對晶圓進行吸附，實現對晶圓進行轉移，但是，現有的吸盤在使用的時候，因為內部的腔體較大，且氣壓流動速率和強度較大，容易造成晶元的破裂等問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓加工用吸盤，具有若干吸板實現對橡膠吸板進行支撐，使得晶圓在吸附的時候，不會因為晶圓中心處應力不均勻發生破裂，以及設有若干吸板，且吸板上開設有不同的，且錯位的吸氣孔，便于降低氣壓流速和強度，并且保持氣壓的均勻性，便于進行吸附和轉移晶圓，保持晶圓的安全性等優點，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種晶圓加工用吸盤，包括吸盤殼體，所述吸盤殼體的內部開設有腔體，所述吸盤殼體的邊緣開設有安裝槽，所述安裝槽內從里向外依次設有第一吸板、第二吸板、第三吸板和第四吸板，所述第一吸板、所述第二吸板、所述第三吸板和所述第四吸板處于所述腔體的內部，所述吸盤殼體的底端設有橡膠吸板，所述吸盤殼體的另一端固定連接有連接板，所述連接板上開設有吸氣孔，所述吸氣孔上連通有主吸氣管，所述主吸氣管的一側連通有副吸氣管，所述主吸氣管的另一側連通有泄壓管。

較佳的，所述主吸氣管的頂端焊接有連接法蘭，所述連接法蘭的邊緣上開設有若干第一螺紋孔。

較佳的，所述泄壓管上連通有外置的第一控制閥門，所述副吸氣管的端部固定設有螺紋連接管，所述螺紋連接管上連接有外置的軟管，所述軟管上連接有第二控制閥門。

較佳的，所述第一吸板和所述第二吸板之間設有第一橡膠圈，所述第二吸板和所述第三吸板之間設有第二橡膠圈，所述第三吸板和所述第四吸板之間設有第三橡膠圈。

較佳的，所述第一吸板上開設有圓形吸氣孔，所述第二吸板上開設有吸氣環孔，所述第三吸板上開設有吸氣渦輪線，所述第四吸板上開設有吸氣六角孔，所述橡膠吸板開設有吸氣條孔。

較佳的，所述腔體的底部設有安裝環，所述第一吸板、所述第二吸板、所述第三吸板、所述第四吸板、所述第一橡膠圈、所述第二橡膠圈和所述第三橡膠圈通過若干加長螺桿和若干第二螺紋孔固定連接在所述安裝環上。

較佳的，所述吸盤殼體的底端開設有連接槽，所述橡膠吸板的外側連接有橡膠環，所述橡膠環的內側固定設有連接環，所述連接環卡合連接在所述連接槽的內部。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：