[實用新型]一種晶圓加工用吸盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202223299027.4
• 申請日: 2022-12-05
• 公開（公告）號: CN218808992U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳繼勇
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇宿芯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 常州市科佑新創(chuàng)專利代理有限公司 32672
• 代理人: 潘志梅

1.一種晶圓加工用吸盤，包括吸盤殼體(1)，其特征在于：所述吸盤殼體(1)的內(nèi)部開設(shè)有腔體(2)，所述吸盤殼體(1)的邊緣開設(shè)有安裝槽(3)，所述安裝槽(3)內(nèi)從里向外依次設(shè)有第一吸板(6)、第二吸板(7)、第三吸板(8)和第四吸板(9)，所述第一吸板(6)、所述第二吸板(7)、所述第三吸板(8)和所述第四吸板(9)處于所述腔體(2)的內(nèi)部，所述吸盤殼體(1)的底端設(shè)有橡膠吸板(10)，所述吸盤殼體(1)的另一端固定連接有連接板(30)，所述連接板(30)上開設(shè)有吸氣孔(26)，所述吸氣孔(26)上連通有主吸氣管(23)，所述主吸氣管(23)的一側(cè)連通有副吸氣管(27)，所述主吸氣管(23)的另一側(cè)連通有泄壓管(29)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工用吸盤，其特征在于：所述主吸氣管(23)的頂端焊接有連接法蘭(24)，所述連接法蘭(24)的邊緣上開設(shè)有若干第一螺紋孔(25)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工用吸盤，其特征在于：所述泄壓管(29)上連通有外置的第一控制閥門，所述副吸氣管(27)的端部固定設(shè)有螺紋連接管(28)，所述螺紋連接管(28)上連接有外置的軟管，所述軟管上連接有第二控制閥門。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工用吸盤，其特征在于：所述第一吸板(6)和所述第二吸板(7)之間設(shè)有第一橡膠圈(11)，所述第二吸板(7)和所述第三吸板(8)之間設(shè)有第二橡膠圈(12)，所述第三吸板(8)和所述第四吸板(9)之間設(shè)有第三橡膠圈(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工用吸盤，其特征在于：所述第一吸板(6)上開設(shè)有圓形吸氣孔(14)，所述第二吸板(7)上開設(shè)有吸氣環(huán)孔(15)，所述第三吸板(8)上開設(shè)有吸氣渦輪線(16)，所述第四吸板(9)上開設(shè)有吸氣六角孔(17)，所述橡膠吸板(10)開設(shè)有吸氣條孔(18)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓加工用吸盤，其特征在于：所述腔體(2)的底部設(shè)有安裝環(huán)(4)，所述第一吸板(6)、所述第二吸板(7)、所述第三吸板(8)、所述第四吸板(9)、所述第一橡膠圈(11)、所述第二橡膠圈(12)和所述第三橡膠圈(13)通過若干加長螺桿(21)和若干第二螺紋孔(22)固定連接在所述安裝環(huán)(4)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓加工用吸盤，其特征在于：所述吸盤殼體(1)的底端開設(shè)有連接槽(5)，所述橡膠吸板(10)的外側(cè)連接有橡膠環(huán)(19)，所述橡膠環(huán)(19)的內(nèi)側(cè)固定設(shè)有連接環(huán)(20)，所述連接環(huán)(20)卡合連接在所述連接槽(5)的內(nèi)部。